TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计
TS-300的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。SEM隔振台研发生产
AVI 200-XL
AVI 200-XL的基本配置包括两个单独的承载模块和一个控制单元,比较大可承载400公斤重量。通过增加隔振模块的数量,可以轻松承受更大的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用,可以按特殊顺序提供不同长度的单个元件。
AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz,然后迅速增加至超过10Hz的35dB
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。 主动隔振台应用在纳米技术的时代,极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响,必须改善测量环境。
1、使用2 mm内六角扳手(包括在内)拆下模块端板。
2、根据扫描电镜的重量调整模块。
在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙,允许每侧大约有2mm的行程。
B、使用M6活动扳手(包括)转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙(在**止动螺母和横撑之间)。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。
C、计算每个螺母的圈数;尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。
D、不要转动螺母太远,否则可能损坏系统。在任何情况下,外露螺纹不得超过10mm
3.装回模块上的端板
5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。
6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。
7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。
AVI主动隔震台
AVI应用于扫描电镜
1、如有可能,拆下扫描电镜柱的侧板。
2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木块以增加高度。
3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓(如有必要)。
4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落,确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平,则使用垫片确保水平,并在各侧均匀地放置在地面上。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 HERZ在被动式隔振系统产品之外,补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。主动隔振台应用
Table Stable通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。SEM隔振台研发生产
TS-140
TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且对用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计
TS-140的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 140的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果
TS-140的高度*为84毫米
TS 140的重量*为28.5千克 SEM隔振台研发生产
岱美仪器技术服务(上海)有限公司致力于仪器仪表,是一家贸易型的公司。公司业务涵盖半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,价格合理,品质有保证。公司注重以质量为中心,以服务为理念,秉持诚信为本的理念,打造仪器仪表良好品牌。岱美中国立足于全国市场,依托强大的研发实力,融合前沿的技术理念,飞快响应客户的变化需求。