海南高温无氧烘箱工艺试验

高温无氧烘箱特点及用途

1、特点：

       箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接，密封性能，能快速去氧或降温，有助于提高产品质量。可满足电子、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥的要求。

2、用途：

       厌氧烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

厌氧烘箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。

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DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 YAMATO高温无氧烘箱如何选型气氛炉禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。

烘箱注意事项与保养

1、使用前注意电压是否正确，请使用机台上所标示之电压，避免电过量，而火灾发生。

2、马达运行方向是否正常，若出风口有气体排出则为正常。（只适用于三相电压380V的机型）

3、当显示温度与实际温度(由标准温度计测出）差异甚大时，不可随意调整线路板之零件或内部参数，应通知本公司派工作人员前往处理。

4、使用过程中温度变化时，请匆随意打开机门。

5、恒温时，当显示温度与设定温度有过冲或偏低现象，需进行自动演算，详见操作说明。

6、请匆将机台放置于潮湿之场所或直接用水冲洗，以防漏电。

7、禁止放置酒精、粘结剂等，具有可燃性、挥发性之物品于机台内，防止意外发生。

8、在机台附近使用可燃性物品，应适当远离，防止意外发生。

9、请小心将物品放入机台，温度在60度以上的请务必戴高温手套。

10、每次使用结束后，关闭电源。

11、打扫表面及内腔灰尘，保持机器清洁。

12、检查通风口是否堵塞，并清理积尘。

13、机台内的加热器要定期进行检查，除尘及其它杂残留物。

14、突然停电，要把加热开关关闭，防止来电时自动启动。

15、若长期停用，必须对箱体进行内、外清洁，拨掉电源插头罩上塑料防尘套。

*文章*为个人观点，具体操作请在技术人员指导下进行。

三分钟掌握气氛炉的注意事项

       1、除了做实验外，不要停留在高温炉管区。

       2、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2运动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。

       3、处理氢氟酸时，请戴手套，如不小心碰到氢氟酸时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%水，揉擦伤处15’。

       4、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。

       5、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。

       6、**钾不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之**钾气体。

       7、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员。

       8、操作气氛炉的时候，请节约纯水用量。

       9、破晶片、滤纸、棉花棒等，请匆掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

       10、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

       11、晶片进出炉口时，请匆碰触炉管口，以免污染炉管。 用于化学热处理的可控气氛炉通常配备有风扇以迫使大气流动。

气氛炉经工艺试验保养工作

       设备于材料试验、合成、烧结等，在日常使用后用户也应注意到设备的保养工作，保养时我们应该定期检查的项目有：  

       1、使用时不得超过额定功率，炉温不得超过*高使用温度。禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。  

       2、保持炉膛清洁，对炉内的金属氧化物，炉渣和杂质等应及时清洁。装卸工件时应谨慎，以防碰坏硅钼棒。  

       3、硅钼棒碱、碱金属、硅酸及硼化合物在高温下对它能起腐蚀作用，水蒸气对它有强烈的氧化影响，氢及含有大量氢的气体在高温时会分解硅钼棒，使用时必须严加注意、  

       4、车间须配备1/2管以水源后力达0.2MPa.  

       5、接通充气口充入CO2及其它保护气体，当气氛炉压力表指示在0.02～0.04MPa时，停止充气。  

       6、通过调查流量和控制出水口温度在40℃。  

       7、当炉温升高，应随时注意，压力长，间断打开放气阀门，使炉胆内的压力在0.1MPa以下，这时胆的油烟等杂质可随之排出。  

       8、实行光亮退火，在升温时打开放气阀，随后充入保护气体，流量由小变大，当炉内压力为正压时，即关闭全部阀门，此工艺应经工艺试验，由熟练工人掌握。 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓C1-007厌氧高温气氛炉。辽宁高温无氧烘箱品牌

气氛炉的特点是在某一既定温度下，向炉内通入一定成分的人工制备气氛，以达到某种热处理的目的。海南高温无氧烘箱工艺试验

DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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