5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。
6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。
7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。 振动分析系统VA-2C是带有远程测量头的系统，可轻松测量三个正交方向上的加速度，速度或位移。芯片隔振台技术原理
AVI 200-M
AVI 200-M的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程
技术指标：
频率： 1,2-200 Hz
负载范围： 0-400公斤
（单个）： 200公斤
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 晶圆片隔振台自动化测量控制中心有超载指示灯。
AVI 200-XL
AVI 200-XL的基本配置包括两个单独的承载模块和一个控制单元，比较大可承载400公斤重量。通过增加隔振模块的数量，可以轻松承受更大的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个元件。
AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。
TS特点：
◎在全部的6个自由度范围内，从0.7Hz到100Hz，TS系列产品提供优良的主动隔振性能。
◎当仪器装载时，高度调整会自动进行。
◎即使当负载偏离中心时，自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时，给予稳定性。
◎通过按下前方的按钮，系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。
◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。
◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。
LFS
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，并与标准AVI / LP系统结合使用在前馈环路中，以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。
LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定，并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336（电磁兼容性）
每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座（诊断插座）连接到传感器。 AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。掩模对准隔振台质保期多久
安装好后参数不需要调整。芯片隔振台技术原理
TS-140+40技术指标：
频率 负载范围 尺寸
0,7-1000 Hz 50-180公斤 500 x
600 x 84毫米
隔离：
动态0.7Hz至1kHz无源（超过1kHz）
传递率：
参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）
矫正力：垂直+/- 8 N 水平+/- 4 N
静态合规性：垂直约12 µm
/ N 水平30-40 µm / N
比较大负载：50-180公斤
尺寸：500 x 600 x
84毫米
重量：28.5公斤
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
芯片隔振台技术原理
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