KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
您了解干式真空泵的优势吗?广州SDL12E50干式真空泵报价

有点真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求 有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统。无油涡旋真空泵选型。无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,工作压力范围宽;动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。上海NEODRY 30E干式真空泵正规代理浚和(上海)仪器有限公司主营干式真空泵。

樫山真空集中了经半导体,液晶行业等所研发的技术,针对一般工业应用
开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。
Ⅱ,特 征
ⅰ) 采用多段ROOTS方式 (抽气部分为非物理性接触构造),
不会因长时间的运行导致设备性能下降。
ⅱ) 保养周期长,因需更换的零件少,可降低后期保养费用。
iii ) 通过选购气镇阀,使设备具有水汽排气性能。
日本KASHIYAMA MU20N18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU20N18P/H |
|
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.5KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
1000×450×950 |
|
质量【kg】 |
410kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU20N18P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
干式真空泵的主要优势是。

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU1200P/H |
|
MAX排气速度(L/min) |
20000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.05KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
380×655×820 |
|
质量【kg】 |
185kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU1200P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 上海干式真空泵批发推荐浚和(上海)仪器有限公司。成都NEODRY 15E干式真空泵授权代理
干式真空泵的好处都有:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。广州SDL12E50干式真空泵报价
日本KASHIYAMA MU100X 技术参数以及配置清单
一、MU100X技术参数:
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式样 |
MU100X |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1660 |
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达到压力(Pa) |
1.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.35KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
230×275×450 |
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质量【kg】 |
60kg |
二、MU100X配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU100X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
广州SDL12E50干式真空泵报价
日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU600P/HMAX排气速度(L/min):10000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.95KW外型尺寸WHL[mm]:350×520×630质量【kg】:130kg二、配 置清单:序号描述数量备注1MU600P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供干式真空泵 ,欢迎您的来电...