干式真空泵的种类特征
螺杆式
利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式
在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式
复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式
利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式
藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式
利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。
干式真空泵的主要特点都有哪些呢?广州樫山干式真空泵授权代理
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
樫山干式真空泵买干式真空泵找浚和(上海)仪器有限公司。

日本KASHIYAMA NEODRY 15E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 15E技术参数:
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式样 |
NEODRY 15E |
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Max排气速度(L/min) |
250 |
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达到压力(Pa) |
1 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
210×250×385 |
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吸气口 |
KF25 |
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噪声 |
≤60DB |
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排气口 |
KF25 |
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质量【kg】 |
23kg |
二、NEODRY15E 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
NEODRY 15E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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4 |
气振阀(选配) |
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未包含 |
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5 |
消音器(选配) |
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未包含 |
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6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
日本KASHIYAMA SDE90X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE90X |
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MAX排气速度(L/min) |
1300 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
1.3KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
370×557×690 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE90X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 干式真空泵的好处您了解多少呢?

日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU1218X |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
O.9KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
870×380×751 |
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质量【kg】 |
270kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU1218X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本 浚和(上海)仪器有限公司为日本KASHIYAMA干式真空泵中国区授权代理商。无锡MU100X干式真空泵正规代理
干式真空泵的系列有:多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。广州樫山干式真空泵授权代理
干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然现在用的还不多,除了价格高原因外,还有用户对干式真空泵的了解不到位,看不到带给企业的未来经济效益,但是干式真空泵使工作容积中无油,因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。小的维护要求,该泵无齿轮箱,同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20,000 小时平均无故障时间;
广州樫山干式真空泵授权代理
日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU600P/HMAX排气速度(L/min):10000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.95KW外型尺寸WHL[mm]:350×520×630质量【kg】:130kg二、配 置清单:序号描述数量备注1MU600P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供干式真空泵 ,欢迎您的来电...