企业商机
高温无氧烘箱基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • YAMATO
  • 型号
  • DTN650C
  • 是否定制
高温无氧烘箱企业商机

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)


洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。


特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作,自动/手动两种运行模式。


安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 YAMATO洁净厌氧高温气氛炉应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。辽宁高温无氧烘箱DTN450C

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C1-008 洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)



用途:光刻工艺后段,光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能,有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。



室温+30~360℃ 规格参数:

温度范围:室温+30~360℃

温度分布精度:±4.0℃(at 360℃)

温度上升时间:60min(室温→360℃)

温度下降时间:90min(360℃→50℃)

氧浓度:20ppm以下

氧浓度下降时间:约45分钟

洁净度100级

装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸:W600×D600×H600mm

电源:3相 AC380V




室温室温+50~500℃ 规格参数:

温度范围:室温+50~500℃

温度分布精度:±8.0℃(a500℃)

温度上升时间:90min(室温→500℃)

温度下降时间:120min(500℃→50℃)

氧浓度:20ppm以下

氧浓度下降时间:约45分钟

洁净度:100级

装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸:W600×D600×H600mm

电源:3相 AC380V



吉林实验室仪器高温无氧烘箱俊和(上海)仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN660C厌氧高温气氛炉。

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充氮烘箱的氮气接口使用方法


       充氮烘箱分为:鼓风式和真空式两种

       鼓风式充氮气一般需要箱体满焊确保氮气损耗快,在烘箱上配一个氮气快插接口,用于快速连接氮气管路,如果避免氮气快插接口有漏气问题,氮气入口处有蓝色密胶圈,管子**去后把密胶圈往外拉一下确保密封。

       真空式充氮气一般都用类似煤气阀的手动阀门,向外的一头就是用于连接氮气管子的快插接口,,氮气入口处有蓝色密胶圈,管子**去,使用时打开阀门即可。


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DNN630C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)



规格:

内尺寸(宽×深×高mm):660×500×660

外形尺寸(宽×深×高mm):1300×1000×1750

内容积:216L

棚板层数/层间距:19层/30mm

排气口:40KF法兰

氮气入口:Rc1/2

冷却水入口:Rc3/4

热水出口:Rc3/4,2个

电源(50/60Hz)额定电流:3相AC380V 19A

重量:约1000kg


选购品:棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机/ 运行/ 故障)、以太网通信功能


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俊和(上海)仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DTN450C洁净厌氧高温气氛炉。

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真空烘箱安装工作



1、真空烘箱查缉配件。

2、将真空烘箱箱体与各附件就位,并调试水准高度差。

3、连署收并管理道及真空系统。周密的抽气机连署见随机附带的抽气机运用文字说明。

4、连署扼制电路。

5、关闭真空烘箱箱门尝试真空功能。

6、设定加热温度,开启加热尝试加热功能。


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用于化学热处理的可控气氛炉通常配备有风扇以迫使大气流动。YAMATO高温无氧烘箱用氩气和氮气的区别

无氧烘箱需增加氮气控制系统,加热之前先延时充氮,以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境,避免高温氧化。辽宁高温无氧烘箱DTN450C

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