- 产地
- 日本
- 品牌
- KASHIYAMA
- 型号
- Neodry 36E
- 是否定制
- 否
干式真空泵的种类特征
螺杆式
利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式
在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式
复数的爪型Rotor以轴平行排列，进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式
利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式
藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式
利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。
干式真空泵的主要特点是：清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。深圳干式真空泵中国授权代理商
日本KASHIYAMA MU30N18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
|
式样 |
MU30N18P/H |
|
MAX排气速度（L/min） |
50000 |
|
达到压力（Pa） |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力（KW） |
1.6KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
1000×450×950 |
|
质量【kg】 |
410kg |
二、 配置清单：
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU30N18P/H主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本 深圳NEODRY 15E干式真空泵正规代理浚和（上海）仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。
日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
|
式样 |
MU180X |
|
MAX排气速度（L/min） |
3000 |
|
达到压力（Pa） |
1.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力（KW） |
0.5KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
|
质量【kg】 |
95kg |
二、 配置清单：
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU180X主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本
|
型号 |
ＮｅｏＤｒｙ7E |
ＮｅｏＤｒｙ15E |
ＮｅｏＤｒｙ３0E |
ＮｅｏＤｒｙ３6E |
ＮｅｏＤｒｙ60E |
|
Zui大排气速度 |
120L/min |
250L/min |
500L/min |
600L/min |
1000L/min |
|
电源式样 注1） |
单相：200-240V/三相：200-240V |
||||
|
到达压力 |
5．0Pa |
１．０Pa |
|||
|
Zui大允许进气压力 |
大气压 |
||||
|
Zui大水蒸气处理量 注2） |
注3） 120ｇ／ｈ |
250g/h 注3） |
注3） ３５０ ｇ／ｈ |
注3） 600ｇ／ｈ |
|
|
使用电动机 |
０．４ ｋＷ |
０．７５ｋW |
1.5ｋW |
||
|
进气口径 |
KF２５（法兰接头） |
KF４０（法兰接头） |
|||
|
排气口径 |
KF２５（法兰接头） |
||||
|
概略重量 |
19ｋｇ |
23 ｋｇ |
25 ｋｇ |
54 ｋｇ |
56kg |
|
噪音（dB(A)） |
≤５６ |
≤58 |
≤60 |
||
|
注１）如使用其他电源，请与我司联系。 注２）水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀（选配）。 注３） 气镇阀（选配）全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为１０Pa左右。 您喜欢干式真空泵的这些特点吗？ |
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日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
|
式样 |
SDE120TX |
|
ZUI大排气速度（L/min） |
1500 |
|
达到压力（Pa） |
1.3 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力（KW） |
6.5KVA |
|
吸气口 |
NW50 |
|
排气口 |
NW40 |
|
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
|
质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单：
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE120TX主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.广州NEODRY 36E干式真空泵正规代理
浚和（上海）仪器有限公司提供小型风冷的干式真空泵。深圳干式真空泵中国授权代理商
干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
深圳干式真空泵中国授权代理商
日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数：式样：MU600P/HMAX排气速度（L/min）：10000达到压力（Pa）：0.5电源电压：3相AC200-220V消费电力（KW）：0.95KW外型尺寸WHL[mm]：350×520×630质量【kg】：130kg二、配 置清单：序号描述数量备注1MU600P/H主机一台，电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器（原厂件，选配）未包含7入口过滤器（选配，非原厂件）未包含设备原产地：日本浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供干式真空泵 ，欢迎您的来电...
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