探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),准确扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针卡使用一段时间后,由于探针加工及使用过程中的微小差异导致所有探针不能在同一平面上会造成。天津手动探针台加工厂家
尽管半导体测试探针国产化迫在眉睫,但从技术的角度来看,要想替代进口产品却并不容易。业内人士指出,国内半导体测试探针还只能用于要求不高的测试需求,比如可靠性测试国产探针可以替代很多,但功能性测试和性能测试还有待突破。弹簧测试探针主要的技术是精微加工和组装能力,涉及精微加工设备、经验、工艺能力缺一不可。值得注意的是,由于半导体测试探针市场一直被国外厂商占据,同时也实施了技术封锁,国内并没有相应的技术人才,包括生产人员和设计人员都缺乏。国内大部分测试探针厂商基本不具备全自动化生产制造能力。温控探针台供应商探针材质、探针直径、光束长度、和尖锥长度都在决定顶端压力时起重要的作用。
探针治具的校准:我们希望校准过程尽可能的把测试网络中除DUT外所有的误差项全部校准掉,当使用探针夹具的方式进行操作有两种校准方法:1-->一种方式是直接对着电缆的SMA端面进行校准,然后通过加载探针S2P文档的方式进行补偿; 2-->第二种方法是直接通过探针搭配的校准板在探针的端面进行校准。是要告诉大家如果直接在SMA端面进行校准之后不补偿探针头,而直接进行测量的话会带来很大的误差。探针厂商一般都会提供探针的S2P文档与校准片,校准片如下图所示,上面有Open、Short、Load及不同负载的微带线。
半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。上海勤确科技有限公司在探针台上装上打点器,打点器根据系统的信号来判断是否给芯片打点标记。
在实际使用中,探针的接触电阻在很大程度上取决于焊点的材料、清洗的次数、以及探针的状况,而且它同标称值相差较多。其中钨铼合金(97%-3%)的接触电阻比钨稍高,抗疲劳性相似。但是,由于钨铼合金的晶格结构比钨更加紧密,其探针顶端的平面更加光滑。因此,这些探针顶端被污染的可能性更小,更容易清洁,其接触电阻也比钨更加稳定。所以钨铼合金是一种更佳的选择。但是,接触电阻是信号路径电阻的重要组成部分。即接触电阻、探针电阻、焊接电阻、trace电阻、以及弹簧针互连电阻的总和。如果是不合格的芯片,打点器立刻对这个不合格的芯片打点。上海探针台一般多少钱
细针和待测器件进行物理和电学接触。天津手动探针台加工厂家
探针台分类探针台从操作上来区分有:手动探针台、半自动探针台和全自动探针台。从功能上来区分有:温控探针台、真空探针台(很低温探针台)、RF探针台、LCD平板探针台、霍尔效应探针台和表面电阻率探针台。高精度探针台:目前世界出货量的型号吸收了新的工艺科技例如OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性-近的位置对正系统(光学目标对准)OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于东京精密的度量技术。实现了以自己为参照的光学对准系统。天津手动探针台加工厂家