探针台的作用是什么?探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入终端产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。探针台测试时参数测不稳,为了不使它氧化,我们平时必须保护好探针卡,把它放在卡盒里。安徽温控探针台生产
探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精确扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。重庆智能探针台配件厂家PCB生产完毕后,直接对PCB进行测试。
手动探针台的使用方式:1.将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。常见故障的排除当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。手动探针台技术参数。
高性能密闭微暗室有效屏蔽:腔体采用导电的处理工艺,确保了各零件之间的导通状态从而达到全屏蔽的效果,降低系统噪声,有效屏蔽外界干扰,并提供低漏电流保护,为微弱电信号测试提供了合理的测试环境;同时也注意零件配合以及装配的同时,保证内部的密封性。对于一些特殊的器件/晶圆需要在高低温的情况进行环境的模拟测试,有效地避免了空气中的水分在样品上结露或者结霜的存在,通过气流的特性,填充满密封腔体内,使腔体里内的气体露的点进行降低直至到一定的点。随着全球半导体行业市场规模不断扩大,半导体设备市场也呈增长趋势。
手动探针台规格描述(以实验室常见的仪准ADVANCED八寸,六寸探针台为例):探针台载物台平整度:5μm探针台右侧标配显微镜升降机构,可抬高显微镜,便于更换镜头和换待测物探针台左侧标配升降器,可快速升降台面8mm,并具备锁定功能探针台右下方标配精调旋转轮,可微调控制台面升降范围25mm(客户有特殊需求,可以增大范围),精度1μm6英寸或者8英寸载物盘可选,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔径250μm-1mm定制卡盘可0-360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,标配角度锁定旋钮大螺母可控制载物盘X-Y方向的移动,移动范围为150mm or 200mm,移动精度为1μm载物台具备快速导入导出功能。探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一。山西自动探针台配件厂家
一般,信号路径电阻被用来替代接触电阻,而且它在众多情况下更加相关。安徽温控探针台生产
探针台需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子,以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15~25℃,相对湿度小于50%的环境中,其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5℃,气压为0.4±0.04MPa。相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。安徽温控探针台生产