高精密微孔加工工艺

传统的微孔加工技术主要有机械加工、超声波打 孔、化学腐蚀加工以及电火花加工等，这些技术各有 各的优点和缺点，且在工业应用中已经相对成熟，但 无法满足更高精度的倒锥微孔加工的需求。随着脉冲激光技术的快速发展，其高精细的加工、良好的 单色性与方向性等特点，被越来越多的应用于高精度 微结构成型中。 细小的微孔是如何进行加工的呢？高精密微孔加工工艺

激光凭借其强度、良好的方向性和相干性，再使其通过特定的光学系统，可将激光束聚焦为直径几微米的光斑，使 其能量密度高达 10^6 ～ 10^8 W/cm2 ，产生 104 ℃ 以上的 高温，材料会在 10^4 ℃以上的温度下迅速达到熔点，熔 化成熔融物，随着激光的继续作用，材料温度会继续 升高，熔融物开始汽化，产生蒸汽层，形成了固、液、汽 三相共存状态。由于蒸汽压力的作用，熔融物会被喷 溅出去，形成孔的初始形貌。随着激光作用时间的增加，孔深度和孔直径不断增加，到激光作用完成后，未 被喷溅出去的熔融物会逐渐凝固，形成重铸层，达到加工的目的

  机械加工小孔的方法是通过刀具或钻头来完成，是一种历史悠久的传统加工方法，在目前的加工领域应用很广，在小孔加工领域，常用的机械加工方法是钻削，钻削具有生产效率高，表面质量和加工精度较高，是一种精度、经济和效率都优越的加工方法，但是加工0.1mm的小孔尤其是密集型小孔加工方面任然存在着缺陷和相当大的难度，主要原因是钻头的直径也要小于0.1mm，0.1mm以下的钻头制造都已经相当的困难，就算可以制造出0.1mm以下的钻头，又因为钻头直径小，其刚性和强度都明显降低，在机床加工过程中因为摇晃会不断折断。所以直径0.1mm小孔加工尤其是密集的小孔加工用机械加工的方式基本是不可行的。 山东激光微孔加工哪家好激光微孔加工设备维护。

随着精密加工技术的高速发展，无论民用、工业、医疗抑或是航天领域，其发展趋势均向微型化、高精度和高质量方向发展。传统的机加工、电火花加工和电子束加工等方法已不能满足高精度微孔加工中所提出的技术要求，如微孔孔径的尺寸及精度、微孔的锥度可控性、大深径比圆柱孔的加工和高硬度高熔点高脆性材料的应用等。激光加工具有高精度、高效率、成本低、材料选择性低等优点，现已成为高精度微孔加工的主流技术之一。

一般扫描振镜打出的孔都是正锥度，难以实现不同锥度孔和异型孔的加工。普通长脉冲激光加工热影响区大，且有重铸层，无法满足高精度微孔加工的要求。

精密小孔激光打孔机采用高性能激光器，激光聚焦CCD同光路电视监视，电子十子叉丝对准，放大倍数400倍，精密四轴运动工作台和工业控制计算机系统组成。精密小孔激光打孔机更短的波长，超小的激光焦点可对0.001mm微孔加工。精密激光打孔烧蚀区少，孔内壁光滑，装夹方便，打孔速度快，长期工作稳定可靠。 激光微孔加工的原理。

精密小孔激光打孔机原理是在高熔点金属钼板上加工微米量级孔径，在硬质碳化钨上加工几十微米的小孔。广泛应用于不锈钢、铝合金、铜制品、金钢石等金属材质；应用行业有消声器小孔、针头小孔、宝石轴承等工件打孔、汽车喷油嘴微孔、细管激光穿孔打孔、橡胶膜微孔爆气管打孔、汽配群孔打孔、雾化片加湿汽配件微孔、橡胶膜片爆气盘微孔；还能对天然金钢石、聚晶金钢石，红宝石、紫铜、不锈钢、碳钢、合金钢等超硬、耐高温材料进行不同形状、不同直径、深度和锥度的打孔。

随着科学技术的发展，许多产品都涉及有密集的 微孔阵列结构，如场致发射阴极微锥阵列衬底。场致 发射阴极微锥阵列衬底需要制备大量密集的倒锥微 孔，用激光加工单个倒锥孔时效率高，但使用常用的 串行加工高密集微孔阵列时会存在加工效率低，加工 时间长等问题。激光并行加工技术可以很好地解 决上述问题，激光分光器可以使激光分束，实现并行 加工。目前已经研发出多种激光分束器，如空间调制器、分光棱镜等。 激光微孔加工在哪些行业领域应用较多？东莞高精密微孔加工批发

随着微电子、微电机系统、微光学等领域的不断 发展，激光微孔阵列加工技术在众多脆硬性材料上加 工高质量、高密集的微孔方面有着广阔的应用前景， 已经成为当前研究的重点。

什么行业需要用到微孔加工？高精密微孔加工工艺

从原理上来看，激光微孔加工主要是利用光热烧蚀和光化学烧蚀进行微孔加工。所谓的光热烧蚀，其实就是使材料在极短时间内完成高能量激光的吸收，从而使材料被加热至熔化和蒸发的状态，继而达到微孔加工的目的。采用该种原理，能够使印刷线路板在高能量下形成孔洞，但是孔壁会留下烧黑的炭化残渣，所以还要在板材孔化前完成清理。采用光化学烧蚀原理，就是利用波长不超过 400nm 的激光进行有机材料长分子链的破坏，从而使分子形成微小颗粒。而在分子能量比原分子大的情况，就会从材料中逸出。在较强的外力吸附下，材料就会被快速除去，进而形成微孔。采用该种原理 ，材料表面不会出现炭化现象，所以只需简单进行孔壁清理。 高精密微孔加工工艺