且过滤部件能将内部的过滤板进行拆卸更换，有效的提高了装置连接安装的便利性。2.高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置，连接构件，连接构件设置在搅拌仓的底部，连接构件与搅拌仓固定连接，连接构件能将装置主体...

因此存在开发蚀刻液组合物时会过度耗费时间和费用的问题。美国公开**第2号公开了在3dnand闪存的制造工序中，对于硅氧化物膜和硅氮化物膜*选择性蚀刻硅氮化物膜的蚀刻液组合物。然而，为了选择构成成分的种...

很好的对注入量进行精确控制，提高了该装置的制备纯度。附图说明图1为本实用新型的整体示意图；图2为本实用新型的a处放大示意图；图3为本实用新型的b处放大示意图；图4为本实用新型翻折观察板沿a-a方向的截...

铜蚀刻液近期成为重要的微电子化学品产品，广泛应用于平板显示、LED制造及半导体制造领域。随着新技术的不断进步，对该蚀刻液也有了更高的要求。并且之前市场上的铜蚀刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高浓度双氧水的...