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    图1为本发明实施例提供的一种抛光减薄装置的结构示意图；图2为本发明实施例提供的一种托盘和待加工部件的键合固定方式示意图；图3为本发明实施例提供的一种磁转子的结构示意图；图4为本发明实施例提供一种磁转子的旋转方式的示意图；图5为本发明实施例提供的一种抛光减薄方法的流程示意图。具体实施方式以上是本发明的思想，为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供了一种抛光减薄装置，用于对inp基晶圆等部件进行抛光减薄，如图1所示，包括托盘10、喷头11和磁转子12，当然，本发明实施例中的抛光减薄装置还包括反应室13等，托盘10、喷头11和磁转子12等在反应室13内进行抛光和减薄反应。其中，托盘10，可选为石英托盘，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圆。喷头11用于向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110，以对待加工表面进行抛光。广州市面上哪家减薄用清洗剂按需定制高效、环保的减薄用清洗剂，为您的生产带来绿色变化。

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    可有效稳定所述固定板423的竖直放置位置。同时，值得指出的时，所述竖直平板421上所述侧支撑件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具体的，所述竖直平板421上设置有若干竖槽，所述竖槽单侧竖直有若干定槽，对应所述定槽设置有带有固定块的安装板，所述安装板对应所述竖槽的侧边设置有至少2个所述固定块，所述安装板远离所述竖槽的侧边设置有所述侧支撑件44，通过将所述固定块分别设置于所述定槽内，从而实现所述侧支撑件44在所述竖直平板421上的固定。通过所述竖直平板421和所述侧板422上的所述侧支撑件44的设置，从而实现对所述玻璃加工治具4上玻璃的侧边位置固定，同时，通过所述侧板422上所述调节槽的设置，可实现所述侧板422上所述侧支撑件44的位置调节，从而使所述玻璃加工治具4适用于不同尺寸的玻璃，并可根据具体玻璃尺寸同时放置不同尺寸的玻璃进行减薄处理。实施例五一般的，对于实施例四中的所述玻璃加工治具4结构，可通过调节所述底支撑件43位置使所述底支撑件43适用于不同尺寸的玻璃。如图7、图8所示，图7为所述底支撑件的结构正视图；图8为所述底支撑件的结构侧视图；所述底支撑件43包括支撑条431、第二支撑条432、连接部433和接触部434。选择高效减薄用清洗剂，为您的生产线注入新活力。芜湖半导体减薄用清洗剂批量定制

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    经减薄处理后的玻璃可再次进入所述冲洗区2以经历减薄后清洁并且通过所述转换区1被卸载到外部；所述玻璃减薄设备还设置有制动组件，通过所述制动组件实现所述玻璃加工治具4从所述转换区1经所述冲洗区2向所述蚀刻区3的减薄前移动，以及从所述蚀刻区3经所述冲洗区2向所述转换区1的减薄后移动。在本实施例中，图1内并排设置有2个所述玻璃减薄设备，所述冲洗区2包括冲洗区2、第二冲洗区2和第三冲洗区2，所述第二冲洗区2设置于所述冲洗区2和所述第三冲洗区2之间，所述冲洗区2设置于所述第二冲洗区2和所述转换区1之间，所述第三冲洗区2设置于所述第二冲洗区2和所述蚀刻区3之间。所述转换区1可升降的折叠式结构，从而便于所述玻璃加工治具4在所述转换区1的放置或卸下。较佳的，所述转换区1还设置有装卸臂，通过所述装卸臂可实现对所述玻璃加工治具4的上下料，以及单片玻璃的拿取检测。实施例二如图2所示，图2为所述蚀刻区的结构示意图；所述蚀刻区3包括腔室31、主厚度测量仪32、喷淋组件33和控制器；所述喷淋组件33在所述腔室31中对设置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加减薄处理，所述主厚度测量仪32实时测量在所述腔室31内经历减薄处理的玻璃厚度。无锡清洗效果好的减薄用清洗剂按需定制