江苏江化微的蚀刻液蚀刻液生产

本实用新型涉及资源回收再利用领域，特别是涉及含铜蚀刻液气液分离装置。背景技术：线路板生产工业中，会对已经使用于蚀刻线路板的含铜蚀刻废液进行回收利用，在回收过程中，废液在加热器中通过蒸汽进行换热，换热完的废液在高温状态下进入分离器，会在分离器中发生闪蒸，闪蒸产生的二次蒸汽中，携带有大小不等的液滴，现有技术因缺乏有效的分离气液的手段，含有铜的液体随着蒸汽被排走，导致了产品发生损失。技术实现要素：基于此，有必要针对现有技术气液分离率低的问题，提供一种含铜蚀刻液气液分离装置。一种含铜蚀刻液气液分离装置，包括分离器及加热器，所述分离器设有液体入口、蒸汽出口及滤液出口，所述液体入口用于将加热器产生的液体输入至分离器中，所述液体入口处设有减压阀，所述蒸汽出口处设有真空泵、除雾组件及除沫组件，所述除雾组件用于过滤分离器中闪蒸的蒸汽中的含铜液体，所述除沫组件用于将经除雾组件除雾的气体进行除沫。在其中一个实施例中，所述除雾组件为设有多个平行且曲折的通道的折流板。在其中一个实施例中，所述除沫组件为丝网。在其中一个实施例中，所述分离器设有液位计、液位开关、液相气相温度传感器和压力传感器。在其中一个实施例中。苏州博洋化学您正确的选择，欢迎咨询。江苏江化微的蚀刻液蚀刻液生产

其中输送装置借由至少一呈顺时针方向转动的滚轮带动基板由喷洒装置的下端部朝向风刀装置的***风刀的下端部的方向移动。如上所述的蚀刻方法，其中风刀装置分别借由一设置于该输送装置的上端部的***风刀与一设置于该输送装置的下端部的第二风刀朝向基板的上表面与下表面吹送气体。借此，本实用新型所产生的技术效果：本实用新型的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的硬体设计，有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蚀刻不均等异常现象，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。附图说明图1：传统挡液板结构的整体设置示意图。图2：本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的整体结构示意图。图3：本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图4：本实用新型挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图5：本实用新型挡液板结构其三较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图6：本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的整体结构示意图。四川天马用的蚀刻液蚀刻液销售价格BOE蚀刻液的溶液配比。

将hno3、四甲基氢氧化铵、h2o2分别投入对应的原料罐，备用；第三步：根据混酸配制表算出各个原料的添加量，按照纯水→亚氨基二乙酸→氢氟酸→hno3→四甲基氢氧化铵→乙醇酸的顺序依次将原料加入调配罐，将上述混料充分搅拌，搅拌时间为3～5h；第四步：在第三步的混料中再添加h2o2，继续搅拌混匀，搅拌时间为3～5h，用磁力泵将混合液通过过滤器循环过滤。作为推荐的技术方案，所述磁力泵出口压力≤，过滤器入口压力≤。根据制备铜蚀刻液的原料确定磁力泵的出口压力和过滤器的入口压力，包装原料可以被充分过滤。作为推荐的技术方案，所述调配罐内的温度设定在30～35℃。调配罐的温度不能超过35℃，由于过氧化氢的密度随温度的升高而减小，因此保证交底的反应温度有助于保证原料体系的稳定作为推荐的技术方案，所述过滤器的微滤膜孔径为～μm。作为推荐的技术方案，第三步中各种原料在～，调配罐内填充氮气，搅拌速度为30～50r/min。作为推荐的技术方案，原料罐和调配罐大拼配量不超过罐容积的80％。本发明的优点和有益效果在于：本发明在制备酸性铜蚀刻液的过程中，用低温纯水(10℃)替代常温纯水(25℃)，将低温纯水加入反应体系中，降低反应体系的反应温度。

可以维持合适的蚀刻速度且提高sin/sio2选择比。(b)硅烷系偶联剂本发明的蚀刻液组合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶联剂作为防蚀剂可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化时使用。上述硅烷系偶联剂推荐使上述硅烷系偶联剂的反应位点(activesite)的数量除以上述硅烷系偶联剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量之后乘以，更推荐满足。上述硅烷系偶联剂推荐按照蚀刻液组合物的蚀刻程度(etchingamount，e/a)满足以上以下的范围的浓度来添加。上述硅烷系偶联剂推荐为选自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate)、双(三乙氧基甲硅烷基)甲烷(bis(triethoxysilyl)methane)、双(三乙氧基甲硅烷基)乙烷(bis(triethoxysilyl)ethane)、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇((triethoxysilyl)methanol)和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷((triethoxysilyl)methane)组成的组中的一种以上，更推荐为选自由双(三乙氧基甲硅烷基)甲烷、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷组成的组中的一种以上，**推荐为(三乙氧基甲硅烷基)甲烷和/或(三乙氧基甲硅烷基)甲醇。相对于组合物总重量，上述硅烷系偶联剂的含量为～10重量％，推荐为～％。苏州博洋化学股份专业生产BOE蚀刻液。

在上述硅烷系偶联剂的含量处于上述含量范围内的情况下，能够调节添加剂本身凝胶化，且获得合适的sio2防蚀和sin蚀刻性能。(c)水本发明的蚀刻液组合物中所包含的上述水可以为用于半导体工序的去离子水，推荐使用18mω/㎝以上的上述去离子水。上述水的含量可以为使包含本发明的必须成分以及除此以外的其他成分的组合物总重量成为100重量％的余量。推荐可以按照本发明的组合物总重量的2～45重量％来包含。<选择添加剂的方法、由此选择的添加剂及利用其的蚀刻方法>此外，本发明提供选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*对上述氮化物膜选择性蚀刻的蚀刻液组合物的添加剂的方法、由此选择的添加剂以及利用该添加剂的蚀刻方法。上述蚀刻液组合物中说明的、对于添加剂选择等的一切内容均可以同样地应用于本发明的选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻上述氮化物膜的蚀刻液组合物的添加剂的方法、由此选择的添加剂以及利用该添加剂的蚀刻方法。具体而言，提供选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻上述氮化物膜的蚀刻液组合物的硅烷系偶联剂的方法、由此选择的硅烷系偶联剂以及包含该硅烷系偶联剂的蚀刻方法。蚀刻液可以蚀刻什么样的金属；苏州天马用的蚀刻液蚀刻液销售电话

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过滤器的出液管自动上行离开储存罐，将装满的储存罐从铝蚀刻液生产车间移动至自动灌装车间中，将灌装头的快速接头插入储存罐的出液口中便可将储存罐内的铝蚀刻液分装。本实用新型除上述技术方案外，还包括以下技术特征：进一步的是，所述地磅的顶部平台中设置有两条卡块，所述卡块与平台之间形成一插槽；所述气动夹紧机构包括气缸和压紧块，所述压紧块位于所述插槽中，所述气缸的伸缩杆与所述压紧块固连。进一步的是，所述拖车的顶部设置有一圈围设在所述储存罐外部的护栏。进一步的是，所述拖车的顶部设置有一集液盒，所述储存罐安装在所述集液盒中。进一步的是，所述拖车的顶部于所述储存罐的旁侧设置有集液腔室。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：1.将原有的大型储存罐更换成数个小型储存罐，并采用液压升降式拖车带着储存罐在铝蚀刻液生产车间与自动灌装车间之中周转，如此便可为铝蚀刻液生产设备配备全自动灌装线，即提高了单瓶灌装精度和效率，又降低了企业的人力成本投入；2.将原有的大型储存罐更换成数个小型储存罐，在储存罐内在进液时，其它储存罐可以进行定量灌装，提高了铝蚀刻液的生产效率。附图说明为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案。江苏江化微的蚀刻液蚀刻液生产