焦作紫外激光精密加工

在光学元件制造方面，激光精密加工有着不可替代的作用。对于镜片的加工，激光可以精确地研磨和抛光。例如，在制造高精度的球面镜或非球面镜时，激光通过控制能量在镜片表面进行微小区域的材料去除，使镜片的曲率达到极高的精度要求。在制造光学薄膜时，激光可以在薄膜材料上进行精细的刻蚀，形成特定的光学图案和结构。而且，在光学纤维的制造中，激光精密加工可以对光纤的端面进行处理，如切割出平整的端面或制造出特殊的微结构，提高光纤的耦合效率和光学性能。精密加工中，激光能量可精确调控，实现材料的逐层去除或沉积。焦作紫外激光精密加工

激光精密加工是一种利用高能量密度、高方向性和高单色性的激光束对材料进行精细加工的技术。其原理是基于激光与物质的相互作用。当激光束聚焦在材料表面时，材料吸收激光的能量，使局部温度急剧升高。对于不同的加工方式，如切割、钻孔、雕刻等，材料的状态变化有所不同。在切割中，材料被熔化或汽化后通过辅助气体吹离；钻孔时，材料在高能量下形成孔洞；雕刻则是通过精确控制激光去除材料来实现预定图案。这种加工方式可以实现微米甚至纳米级别的精度，能在各种硬度和类型的材料上进行加工。珠海喷丝板激光精密加工精工细作，激光加工的独特魅力。

激光切割是应用激光聚焦后产生的高功率密度能量来实现的。在计算机的控制下，通过脉冲使激光器放电，从而输出受控的重复高频率的脉冲激光，形成一定频率，一定脉宽的光束，该脉冲激光束经过光路传导及反射并通过聚焦透镜组聚焦在加工物体的表面上，形成一个个细微的、高能量密度光斑，焦斑位于待加工面附近，以瞬间高温熔化或气化被加工材料。每一个高能量的激光脉冲瞬间就把物体表面溅射出一个细小的孔，在计算机控制下，激光加工头与被加工材料按预先绘好的图形进行连续相对运动打点，这样就会把物体加工成想要的形状。

微机电系统（MEMS）对加工精度有着极高的要求，激光精密加工在此领域大显身手。在MEMS器件的制造中，如微型传感器和微型执行器，激光可以加工出复杂的微结构。以微型加速度计为例，其内部的微小悬臂梁、质量块等结构需要精确到微米级别。激光精密加工通过控制激光束的能量和光斑大小，能够在硅等材料上雕刻出这些精细结构。同时，在制造微流体芯片时，激光可以加工出微通道和微小的反应腔室，这些通道的尺寸和形状对于流体的控制和分析至关重要，激光精密加工确保了微流体芯片的高性能。激光精密加工可在柔性材料上制作出高精度的传感器阵列。

激光精密加工过程中，激光束能量密度高，加工速度快，并且是局部加工，对非激光照射部位没有或影响极小，因此，其热影响区小，工件热变形小，后续加工量小。激光束的发散角可<1毫弧，光斑直径可小到微米量级，作用时间可以短到纳秒和皮秒，同时，大功率激光器的连续输出功率又可达千瓦至10kW量级，因而激光既适于精密微细加工，又适于大型材料加工。激光束容易控制，易于与精密机械、精密测量技术和电子计算机相结合，实现加工的高度自动化和达到很高的加工精度。激光精密加工技术已在众多领域得到广泛应用，随着激光加工技术、设备、工艺研究的不断深进，将具有更广阔的应用远景。由于加工过程中输入工件的热量小，所以热影响区和热变形小；加工效率高，易于实现自动化。精密加工中，激光束聚焦光斑直径可达微米级，能实现复杂微小结构的加工。嘉兴零锥度激光精密加工

可在半导体晶圆上进行精密划片，切口整齐，崩边小，不影响芯片性能。焦作紫外激光精密加工

激光精密加工特点：高速快捷：从加工周期来看，电火花加工的工具电极精度要求高、损耗大，加工周期较长；电解加工的加工型腔、型面的阴极模设计工作量大，制造周期亦很长；光化学加工工序复杂；而激光精密加工操作简单，切缝宽度方便调控，可立即根据电脑输出的图样进行高速雕刻和切割、加工速度快，加工周期比其它方法均要短。安全可靠：激光精密加工属于非接触加工，不会对材料造成机械挤压或机械应力；相对于电火花加工、等离子弧加工，其热影响区和变形很小，因而能加工十分微小的零部件。焦作紫外激光精密加工