东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08，为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术，通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体，释放出高活性自由基，与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应，聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离，避免离子轰击造成的腔室损伤，同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中，RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物，确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷，维护简单，运行稳定性强，可适配不同规格半导体工艺腔体，目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。先进封装工艺使用 RPS 远程等离子体源清洁键合表面，提升封装强度与气密性。山东远程等离子电源RPS电源半导体
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，实现了模具制造中设计与检测的一体化流程，提升模具生产效率与精度。在模具设计阶段，RPS 可扫描现有模具或样品，生成三维数据用于模具设计参考，缩短设计周期；在模具加工过程中，RPS 可实时扫描加工中的模具，检测关键尺寸，及时调整加工参数，避免加工误差。在模具验收阶段，RPS 通过多面扫描模具型腔、型芯等关键部位，生成详细的检测报告，确保模具质量符合要求。该 RPS 设计与检测一体化方案可与模具 CAD/CAM 软件无缝对接，实现数据的快速传输与共享。目前，RPS 已应用于注塑模、冲压模等多种模具的制造，成为模具行业提升竞争力的中心 RPS 技术工具。广东远程等离子源处理cvd腔室RPS石英舟处理RPS 远程等离子体源采用无电极或远距耦合结构，降低金属污染，满足超高洁净工艺要求。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具采用轻量化设计，具备便携性强的明显优势，适用于多种工作场景。RPS 检具选用强度、轻量化的质量材料，在保证结构强度与检测精度的前提下，大幅降低设备重量，便于搬运与安装。对于需要现场检测的场景，如零部件安装现场、户外维修等，RPS 便携检具可快速部署，完成检测任务，无需依赖固定检测场地。该 RPS 便携检具的操作界面简洁直观，配备便携式电源，可在无外接电源的情况下长时间工作。轻量化与便携性设计让 RPS 检具的应用场景更加宽泛，成为现场检测、移动检测的推荐 RPS 设备，为客户提供了更大的使用灵活性。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术，在紧急救援场景中发挥着关键的生命保障作用，大幅提升救援效率。在地震、火灾等灾难现场，GNSS 信号可能受到破坏或干扰，RPS 定位技术可通过蜂窝小区 ID 定位、射频地图定位等方式，快速确定受困人员的大概位置。RPS 定位系统响应速度快，可在复杂环境中稳定工作，为救援人员提供实时的位置指引；定位精度高，能够缩小搜索范围，减少救援时间。晟鼎精密的 RPS 紧急救援定位方案可与救援设备联动，支持多救援团队协同作业，提升救援组织效率。该 RPS 定位技术已应用于多个应急救援场景，帮助救援人员成功营救多名受困人员，成为紧急救援领域的重要 RPS 技术装备。RPS 远程等离子体源在氢退火工艺中提供可控自由基，优化界面缺陷，提升器件电学性能。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出 RPS 快速模具与 3D 打印的协同应用方案，整合两种技术优势，为客户提供更高效的生产解决方案。在产品研发初期，通过 RPS 3D 打印快速制作样品，进行外观与结构验证；当样品验证通过后，利用 RPS 快速模具进行小批量生产，满足市场测试需求。RPS 3D 打印具备快速成型、设计自由度高的优势，可制作复杂结构样品；RPS 快速模具则具备生产效率高、零件质量好的特点，可实现接近量产标准的小批量生产。两种技术的协同应用，实现了从样品研发到小批量生产的无缝衔接，大幅缩短了产品上市周期。该 RPS 协同应用方案已应用于智能装备、医疗设备等多个领域，成为企业产品研发与生产的高效 RPS 组合方案。节能型 RPS 远程等离子体源能量利用率高、反射功率低，长期使用可降低企业用电成本。海南半导体设备RPS石墨舟腔体清洗
RPS 远程等离子体源适配第三代半导体工艺，在碳化硅、氮化镓制程中发挥重要作用。山东远程等离子电源RPS电源半导体
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位系统，为物流仓储行业提供了高效的资产管理与流程优化方案。在大型仓库中，RPS 通过超宽带、蓝牙信标等定位技术，实现对货物、托盘、叉车等资产的实时位置追踪，管理人员可通过终端设备快速查询资产位置，大幅减少寻找时间。RPS 定位系统支持资产出入库自动记录，实现库存数据的实时更新，避免人工统计导致的误差；通过与仓储管理系统联动，RPS 可优化货物存储位置，提高仓库空间利用率。在货物分拣环节，RPS 可引导分拣人员快速定位目标货物，提升分拣效率；在货物运输过程中，RPS 实时监控运输状态，确保货物安全。该 RPS 物流仓储解决方案已应用于多家大型物流企业，帮助企业降低运营成本，提升管理效率，成为物流智能化升级的中心 RPS 技术。山东远程等离子电源RPS电源半导体
