马德宝螺杆真空泵系列产品涵盖 LG 系列(LG50 至 LG360)与 LGB 系列(LGB70 至 LGB400),抽速范围 50-480 L/S(50/60Hz),极限压力 1-50 Pa,配用功率 5.5-55 KW,冷却水量 2.5-3.5 L/min,进气口径 50-100mm、排气口径 40-65mm,重量 295-680 kg,噪音 72-89 dB (A)。例如 LG100 型抽速 100/120 L/S,极限压力 2/1 Pa,功率 11/15 KW;LGB200A 型抽速 200/240 L/S,极限压力 0.02/0.01 mbar,适配多种对真空度与抽速有不同需求的场景。此外,机组可防腐处理,用于抽除腐蚀性气体,在化工制药的脱水结晶、电力的真空浸渍等工艺中表现突出。定期更换滤芯延长设备使用寿命。环保行业螺杆真空泵结构图

选型螺杆真空泵需重点关注以下技术参数:抽气速率(m³/h 或 L/s),指泵在特定入口压力下的抽气能力;极限压力(Pa, mbar 或 Torr),指泵能达到的比较低入口压力;电机功率与转速;允许进气温度(通常 -10℃ ~ 40℃);冷却方式与冷却水消耗量;噪音水平;以及耐受介质特性(如是否可处理腐蚀性气体、粉尘、微量液体)。此外,密封吹扫气量、清洗吹扫气量也是系统设计的重要参数。选型时必须依据工艺要求的真空度、抽气量、被抽气体成分(腐蚀性、可燃性、是否含颗粒或可凝蒸汽)以及现场冷却条件等综合确定,必要时需配置前级罗茨泵以扩大工作范围。节能螺杆真空泵厂家直销可与罗茨泵组合形成高真空系统。

干式螺杆真空泵与其他干式泵的性能差异。与爪式真空泵相比,干式螺杆真空泵的抽速范围更广(10-1000 vs 10-200 ),但极限压力略高;与涡旋真空泵相比,干式螺杆真空泵的耐固体颗粒能力更强(可处理粒径≤10μm 颗粒,涡旋泵*≤5μm),但噪音稍大(75dB vs 65dB);与多级罗茨泵相比,干式螺杆真空泵的压缩比更高(1000:1 vs 100:1),但转速更低(6000r/min vs 10000r/min)。基于这些差异,在选型时需根据工况优先级:大抽速选干式螺杆真空泵,高真空选涡旋泵,耐颗粒选干式螺杆泵,低噪音选涡旋泵。

螺杆真空泵是一种通过一对精密同步、反向旋转的螺杆转子来实现气体抽吸与排出的干式真空设备。其**特征在于转子之间以及转子与泵腔之间始终保持微小间隙,无金属接触,无需润滑介质,从而实现了“干式”运行。这一设计使其在清洁度、耐腐蚀性、可凝性蒸汽处理能力方面***优于传统的油封式或液环式真空泵。其优势涵盖宽广的抽速范围、较低的能耗与运行噪音、结构紧凑以及几乎无需处理废液,因此在半导体制造、光伏产业、化工制药、石化炼油及空间模拟等对真空环境要求苛刻的领域得到了广泛应用,**了现代真空获得技术的重要发展方向。螺杆泵进气过滤需定期更换滤芯。环保行业螺杆真空泵结构图
干式螺杆真空泵适配含腐蚀性蒸气、可凝性溶剂及少量固体颗粒的工况。环保行业螺杆真空泵结构图
马德宝真空设备集团有限公司是一家有着先进的发展理念,先进的管理经验,在发展过程中不断完善自己,要求自己,不断创新,时刻准备着迎接更多挑战的活力公司,在浙江省等地区的机械及行业设备中汇聚了大量的人脉以及**,在业界也收获了很多良好的评价,这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果,这些评价对我们而言是比较好的前进动力,也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神,努力把公司发展战略推向一个新高度,在全体员工共同努力之下,全力拼搏将共同马德宝真空设备集团供应和您一起携手走向更好的未来,创造更有价值的产品,我们将以更好的状态,更认真的态度,更饱满的精力去创造,去拼搏,去努力,让我们一起更好更快的成长!
半导体制造工艺对真空环境的洁净度要求极为严苛,任何微量的油蒸气污染都可能导致芯片良率下降。螺杆真空泵因其无油清洁特性,成为半导体行业的理想选择。在离子注入、物理的气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、刻蚀等关键工艺中,螺杆泵通常作为干式真空机组的主泵或前级泵,与罗茨泵、分子泵配合,将反应室抽至10⁻³Pa量级的高真空,并稳定维持工艺压力。针对原子层沉积(ALD)等先进制程对粉尘和腐蚀性气体的耐受要求,增强型螺杆泵机组(如SJRE系列)通过特殊密封结构和氮气吹扫装置,可耐受生产过程中产生的细微颗粒(如硅粉),有效延长设备寿命。随着半导体产业向更高集成度发展,对真空环境的洁净度要求不断提...