模块化MEMS工艺检测长期项目合作

宁波启朴芯微拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以全支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级加工，生产过程中严格遵守企业内部生产定标准与客户方需求，遵循生产员与质检员登记对接制度，针对不同业务进度进行检验工作。以“斫雕为朴，芯程再启”为创立宗旨，启朴芯微持续精进，为您带来更精湛的技术水平。模块化MEMS工艺检测长期项目合作

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，公司本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。湖南晶圆级MEMS工艺检测个性化服务遵循工程师对接制度,强化客户本位,支持8英寸MEMS圆级加工,启朴芯微服务周到！

精耕细耘，以业为本。面对目前国内光学传感领域实际需求，宁波启朴芯微同样将展出由项目团队自主研发的小型高光谱相机产品。该系统以光功能芯片为中心，通过对连续的物体光谱采集,以获取反射、辐射光谱信息。多年以来技术团队持续攻关，将结构轻便、精细度高、材料强度高、可定制性等技术优势赋予光谱成像系统的研制工艺，形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，同时通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制，可以为典型目标的探测识别提供了有力保障。

启朴芯微团队自主研发的消高反光特种视觉检测系统，是工业检测领域的一次重大突破。它的出现，解决了传统检测方法中的诸多难题。通过像素级定标技术和先进的半导体加工工艺，实现了图像的精细分析和产品的高精度定位组装。过杀率和误判率的降低，提高了检测效率和产品质量。这一系统的成功应用，标志着我国在工业检测领域达到了国际先进水平。宁波启朴芯微的8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是我国芯片产业发展的重要支撑。它的建立，标志着我国在芯片制造领域取得了重大突破。先进的设备和完善的设施，为芯片的研发和制造提供了有力的保障。服务200余家高校、科研院所和科创企业的成绩，彰显了其在行业内的地位。获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等荣誉，更是对其实力的高度肯定。这条产线的发展，将推动我国芯片产业向更高水平迈进。宁波启朴芯微系统技术有限公司自主可控8英寸MEMS研发中试ODM产线，具有MEMS制造优势。

8英寸的MEMS研发中试ODM产线，配套激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套前沿技术设备，由此，启朴芯微具备为客户提供质量产品服务的能力，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，赋予启朴芯微强大的加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，更充分支持实现国内MEMS技术企业、科研院所和高校的结构设计、工艺开发、流片代工和测试应用需求。宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案，拥有自主可控的宁波i首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。公司拥有办公与生产区域共1000余平方米，百级/万级MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，同步配备仓储空间，生产过程严格遵循相关国家标准，为国内传感智能技术企业、科研院所、高校提供高质量的MEMS结构设计、工艺开发、流片代工、测试应用服务。启朴芯微,全程掌握从业务签订、开单生产到暂存、发货等环节。厦门智能MEMS工艺检测项目合作

基于加工能力、技术研发路径优势，启朴芯微持续凝聚MEMS领域专业人才，以实现工艺能力的突破。模块化MEMS工艺检测长期项目合作

秉承“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，宁波启朴芯微致力于将先进的光刻、深硅刻蚀、键合等技术服务方案应用于实际生产中，不断提升产品的性能和品质，以满足客户日益增长的多样化需求。启朴芯微自主研发的小型高光谱相机产品，以光功能芯片为，通过对连续的物体光谱进行高精度采集和分析，能够获取丰富的反射和辐射光谱信息，为科研、医疗、环境监测等领域提供了强有力的技术支持。启朴芯微团队充分发挥自身技术优势，利用MEMS芯片结构轻便、精细度高、材料强度高等特点，研制具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，其通过像素级定标技术实现图像精细分析，比较大限度避免强光干扰问题，极大提升了工业制造品检测效率，为光学传感技术的发展注入了新的活力，同时，启朴芯微力求提高产品定制化设计服务质量，持续开展特种光学产品应用与推广，围绕MEMS产品可行性方案积极参与行业交流。模块化MEMS工艺检测长期项目合作