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艾里卡特MCV系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。MCV还配有一个下游用的气动截止阀。MCV-0.5SCCM-DMCV-1SCCM-DMCV-2SCCM-DMCV-5SCCM-DMCV-10SCCM-DMCV-20SCCM-DMCV-50SCCM-DMCV-100SCCM-DMCV-200SCCM-DMCV-500SCCM-DMCV-1SLPM-DMCV-2SLPM-DMCV-5SLPM-DMCV-10SLPM-DMCV-20SLPM-D艾里卡特MCVS系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于腐蚀性气体。PCR-2inH2OD PCR-2inH2OG PCR-4inH2OD压力控制器PCR-4inH2OG PCR-1PSID PCR-150PSID PCR-5PSID PCR-15PSID价格.

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