企业商机
螺杆真空泵基本参数
  • 品牌
  • 马德宝
  • 型号
  • LGB螺杆真空泵
螺杆真空泵企业商机

在半导体芯片制造流程中,螺杆真空泵扮演着至关重要的角色。半导体工艺如化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)以及刻蚀(Etch)等环节,常常需要使用到多种剧毒、易燃或强腐蚀性的特种气体。螺杆真空泵因其出色的耐化学腐蚀能力和极高的真空洁净度,成为这些工艺腔室的推荐抽气设备。在这些应用中,螺杆泵不仅需要快速地将反应腔抽至所需的本底真空,还要在工艺过程中持续抽出残余气体与副产物。为了防止工艺副产物在泵内沉积堵塞,半导体级螺杆真空泵通常配备有氮气吹扫(Purge)系统和内部淋水(Water Flush)清洗功能。通过这些辅助系统,可以有效控制泵腔内的温度,并带走或溶解反应生成物,从而确保真空泵在24小时不间断的严苛生产环境中保持长期稳定的抽气性能。
螺杆真空泵的双螺杆转子型线多为 “摆线 - 渐开线” 组合,通过高精度同步齿轮驱动。山东螺杆真空泵采购

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螺杆真空泵的密封吹扫(或称气障)是指在驱动端(前端盖)和非驱动端(后端盖)的密封区域,持续通入氮气等惰性气体,形成微正压屏障。其主要目的是防止工艺气体渗入齿轮箱污染润滑油和润滑脂,同时也能阻止润滑油向泵腔扩散,保持泵腔清洁。吹扫压力通常为 0.5-1.5 bar,流量根据型号而定。工艺吹扫(开机/停机吹扫)则是在泵启动前或停机后,关闭入口主阀,向泵腔内通入氮气或干燥空气并运行20-40分钟。其目的是在开机前预热泵腔防止冷凝,或在停机后***腔内残留的工艺气体、蒸汽或可凝物,特别是处理腐蚀性、有毒或易聚合介质时,此步骤至关重要,能有效防止泵内腐蚀、结垢或下次启动过载。永磁变频螺杆真空泵厂家直销螺杆泵能耗比传统油泵低 25% 以上。

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干式螺杆真空泵的工作原理基于一对精密加工、相互啮合但互不接触的螺杆转子,在泵壳中作同步高速反向旋转,通过容积的变化实现气体的吸入、压缩和排出。整个过程无需油或水作为工作介质,从而在泵腔内实现干式无油,获得洁净真空。泵工作时,气体从进气口进入,被吸入由转子齿槽和泵体内壁形成的封闭空间。随着转子旋转,该封闭空间容积增大,持续吸入气体。随后,由于转子的啮合运动,封闭空间被逐步推向排气端,容积不断减小,气体被压缩。当压缩腔与排气口连通时,压缩气体被排出泵外。

在金属或陶瓷粉末注射成型(MIM/CIM)的脱脂环节,会产生大量挥发性粘结剂蒸汽及微小粉尘。马德宝专为该工况优化的干式螺杆真空泵,凭借全无油的设计理念,彻底根除了油污染导致的废油处理与泵体卡死隐患。泵腔内部螺杆间保持精密的非接触运行,确保工艺气体直接排出而不被污染。设备可集成智能氮气吹扫与前置冷凝器,在气体进入泵腔前捕集大部分可凝蒸汽,并用微量惰性气体对泵腔进行持续净化,防止粘结物在内壁残留。该方案有效保障了脱脂工艺所需的稳定中低真空环境,直接提升了烧结后的产品良率。
无油设计使螺杆真空泵避免油污染问题。

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在火力发电及垃圾焚烧发电等电力行业中,螺杆真空泵常被用于汽轮机的凝汽器抽真空系统以及飞灰的负压输送系统。在凝汽器抽真空应用中,螺杆真空泵负责抽出凝汽器内的不凝结气体,以维持凝汽器内的真空度,从而提高汽轮机的热循环效率。相比于传统的水环泵,螺杆真空泵在冬季等低水温环境下不会出现抽吸能力下降的问题,且其运行功耗更低,维护成本更少。在飞灰输送系统中,螺杆真空泵作为负压气源,通过管道将锅炉尾部收集的飞灰抽送至灰库。由于飞灰中含有一定量的硬质颗粒,这对真空泵的耐磨性提出了较高要求。通过在螺杆转子表面堆焊硬质合金或进行特殊的表面热处理,可以有效提升其抗磨损能力,确保设备在长期输送含尘气体时的可靠性与使用寿命。
干式螺杆真空泵静密封用氟橡胶 O 型圈,耐温 - 20-200℃,动密封为双端面机械密封。LGB系列干式螺杆真空泵厂家报价

半导体设备配套螺杆泵需高洁净度。山东螺杆真空泵采购

螺杆真空泵主要由螺杆转子、轴承、同步齿轮、泵体、密封系统和冷却系统等部分组成。两个旋向相反的螺杆转子(通常称为阳转子和阴转子)平行安装在泵壳中,由高精度轴承支撑。转子经精细动平衡校正,确保高速旋转时的平稳性。同步齿轮确保两转子严格按传动比反向旋转,保持转子间的恒定间隙而不发生接触。泵体通常采用整体式结构,内壁与转子外圆之间也保持微小间隙。轴端密封是螺杆泵的关键部位,通常采用机械密封或迷宫密封,防止气体泄漏。根据转子轴线布置方式,螺杆真空泵可分为卧式和立式两种结构形式。卧式结构重心低、稳定性好,适用于大中型泵;立式结构占地面积小,有利于粉尘沉降,适用于特定工况。
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河南LGB系列干式螺杆真空泵厂家供应 2026-04-27

螺杆真空泵很明显的优势在于其工作腔内无需任何润滑油或密封液,可实现完全无油的清洁真空。这一特性源于转子间、转子与泵壳间均保持微小间隙且无机械接触,无需依靠油膜进行密封和润滑。与传统油封式真空泵相比,螺杆泵彻底杜绝了油蒸气的返流污染,确保了被抽真空系统的纯净度。在半导体芯片制造、制药真空蒸馏、精细化工合成等对洁净度要求严苛的工艺中,这一优势尤为突出。同时,无油设计也使得被抽气体可以直接排出泵体而不污染冷却水,无环保压力,气体回收更便捷。对于化工生产中常见的溶剂回收工艺,采用无油螺杆泵可获得纯净的回收溶剂,创造附加经济效益。 新能源行业螺杆泵需求年增超 20%。河南LGB系列干式螺杆真空泵厂家...

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