两机水导激光加工加工样品展示

中科煜宸与福旭智能制造有限公司达成战略合作，双方在宁淮智能制造产业园联合打造水导激光精密加工基地，规划部署近百台水导激光智能加工设备。该基地预计2026年初建成投入运营，将重点面向陶瓷、复合材料、硬质合金、金刚石等硬脆材料提供专业加工服务。这一布局准确契合了国家“十五五”规划关于“建设现代化产业体系、加快经济社会发展 绿色转型”的战略部署，深度响应“坚持智能化、绿色化、融合化方向”的关键要求。该基地的建成运营，不 将填补国内大规模水导激光精密加工领域的空白，更将为我国制造业向绿色化、智能化、高精尖化转型提供有力支撑。中科煜宸水导激光技术实现激光精确性与水射流冷却性完美融合，开启精密加工“冷加工”全新范式。两机水导激光加工加工样品展示

IGBT、MOSFET等功率器件的性能与散热息息相关，芯片的背面减薄能够有效降低热阻、提升散热效率。然而，厚度已减至几十微米的芯片薄如蝉翼，传统减薄方法极易导致碎片。中科煜宸水导激光加工技术为芯片减薄提供了全新思路：通过逐层精密去除材料，将芯片减薄至目标厚度，整个过程无机械接触，碎片风险极低。同时，中科煜宸水导激光技术还可用于硅通孔（TSV）的成型加工，水射流的垂直导向作用保证了通孔的高深径比和侧壁垂直度。采用中科煜宸水导激光进行功率器件加工的客户反馈，芯片散热性能明显提升，开关损耗明显降低。中科煜宸水导激光技术正在为功率半导体、MEMS传感器、先进封装等领域提供关键的精密加工支撑。北京超小水导激光加工设备租赁选项对于PET薄膜、医用导管等热敏感聚合物，水导激光可在极低热输入下完成精密切割或打孔，避免材料熔化变形。

在当今高精尖制造领域，精密加工技术的自主可控关乎国家工业命脉。中科煜宸作为国家专精特新“小巨人”企业，始终坚守自主创新的初心，在水导激光加工领域取得了令人瞩目的成就。公司成功攻克了关键器件、精密机床、软件系统、工艺数据库等关键环节，实现了水导激光设备的 国产化与自主化。这一突破，标志着我国在高精尖数控机床领域成功打破了国外技术垄断，解决了长期困扰行业的“卡脖子”技术难题。中科煜宸已实现加工幅面从300mm至1000mm全系列五轴水导激光加工设备的批量化生产制造，为国内高精尖精密加工提供了可靠的工业母机支撑，其技术实力和创新精神赢得了业界的普遍认可。

随着芯片集成度的不断提高，半导体晶圆的切割和减薄工艺对精度和无损伤提出了极高要求。传统金刚石刀片划片存在机械应力大、切割线宽宽、边缘崩边等问题；激光隐形切割虽然减少了表面损伤，但仍存在热影响。中科煜宸水导激光加工技术融合了两者的优点：激光能量被水射流准确聚焦，切割线宽可细至数十微米；水射流持续冷却，几乎无热影响区；无机械接触避免了应力损伤。中科煜宸在单晶硅水导激光加工方面拥有丰富的技术经验，这些技术确保了中科煜宸水导激光在半导体材料加工中能够实现亚微米级精度、零崩边、无热损伤的加工效果，完全满足先进封装、MEMS器件、功率器件等高精尖半导体制造的需求。水导激光设备远销全球，中科煜宸品牌获国际市场认可。

金刚石以其极高的硬度和耐磨性普遍应用于精密刀具、光学窗口、电子散热基板等领域，但其加工难度极大。传统金刚石加工方法存在效率低、损伤大、精度差等问题。中科煜宸水导激光加工技术彻底改变了这一局面。激光能量被水射流准确导引至加工位置，而水射流的冷却作用有效抑制了金刚石的热石墨化，保证了切割边缘的锐利和光滑。中科煜宸开发的“水导激光加工金刚石盲槽工艺”通过多角度补偿优化激光入射角，减少散射效应，提升槽壁光滑度。“适用于大尺寸金刚石的水导激光切割方法”则通过区域差异化参数调控，实现大尺寸金刚石的高效贯穿性切割。中科煜宸水导激光技术使金刚石加工从“不可能”变为“高质量、高效率”，是金刚石加工领域的一次革新。积极参与行业交流，中科煜宸展现水导激光技术前沿成果。深圳格栅孔水导激光加工自动化集成方案

水导激光微钻孔技术能加工出深径比大、孔壁光滑、无再铸层的高质量微孔，完美适用于喷油嘴、冷却孔等场景。两机水导激光加工加工样品展示

单晶硅作为一种典型的脆硬材料，在水导激光加工过程中面临着崩边、裂纹等严峻挑战。中科煜宸创新研发的“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，通过巧妙的结构设计解决了这一行业难题。该系统采用高透光性玻璃作为底部支撑材料，从底部方向贴合到单晶硅片，与单晶硅片形成一体并支撑单晶硅片；同时通过上下夹具进行夹持固定，在夹具与单晶硅片的接触面加装弹性垫片进行缓冲和防护。这种双重支撑结构既提供了有效的机械支撑，又使得加工过程中的激光能够透过玻璃逸散，防止激光反射对单晶硅造成损伤。采用中科煜宸水导激光双重支撑技术加工的单晶硅片，边缘崩边和裂纹明显减少，成品表面质量大幅提升。两机水导激光加工加工样品展示

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