除了习惯、经验等非技术性因素之外，不外乎有以下几个原因：a)灵活性：在三种系统中，FFU系统的灵活性是**好的，这点特别适应当今IC生产技术飞速发展的要求，由于随着产品生产工艺的发展洁净度等级需求也会不断严格。隧道系统几乎谈不上灵活性，且隧道系统是以操作区作为送风、设备区作为回风的空气循环系统，但8”、12”IC厂房无尘车间日前基本上都采用Ballroom方式，，f：分操作区和设备区，因此隧道系统也就不适用J；集中送风系统有一定的灵活性，但洁净系统改造时必须停机、停产。如果要提高局部区域的洁净度，除了无尘车间顶部要增加HEPA/ULPA过滤器外，还需增设循环机组，从而使改造难度大，而且对生产有较大影响；采用FFU系统，局部增加FFU台数或移动FFU位置均很容易实现，而且可以在不停产的情况下进行，对生产几乎没有影响。b)调控性：和集中式送风系统相比，FFU系统各区空气交叉的情况相对要少，可以实现较高精度的温湿度控制。随着电机与网络控制技术的发展，FFU很容易实现单台控制，每台FFU出风速度在一定范围内几乎可以任意调节，这样就很容易解决大跨度无尘车间远近端气流不均匀的问题。另外FFU还可以根据实际使用需要停开或少开启一部分。医院无尘车间建设的常见通点有哪些，欢迎咨询上海中湖。浙江万级洁净无尘车间案例
干表冷器所用的冷冻水温度应根据室内湿负荷、室内空气的**温度等因素确定，IC厂房工艺生产设备发湿量很少，考虑干表冷器所用冷冻水本身的温度控制精度以及其他的安全余量，实际工程中一般冷冻水供水温度比室内空气**温度高2～3℃，温差通常取3～5℃，根据室内温度控制精度确定。干表冷器所用的冷冻水通常以混水方式或换热方式得到。c)干表冷器断面风速不宜太高，因为过高的风速会使干表冷器空气侧阻力偏大，而由于房间噪声要求的限制FFU所能提供的机外余压有限，一般为90Pa，考虑其他风路阻力，干表冷器的空气侧阻力通常控制在40Pa左右。3空气中分子级污染物(AMC)控制随着lC生产的飞速发展，其加工的特征尺寸越来越微细化，去除空气中的AMC(**rbomemolecularcontamination)问题越来越受到人们关注，**半导体制造技术协会(SEMATECH)及其他机构、**对IC生产中AMC的危害和允许浓度分别进行了分析预测，表l是SEMATECH所预测的**半导体发展进程及相应的AMC的要求。一些研究结果表明，空气中的金属离子(Na、K、Fe、Cu、Zn等)会破坏绝缘层，使p-n结漏电；而氮氧化物、二氧化硫、氨、有机物、臭氧、硼、磷等都会引起电路缺陷。AMC已直接影响到产品的成品率和可靠性。福建十万级无尘车间上海中湖洁净无尘车间质量保证。
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无尘车间的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重。无尘车间的高度以净高控制，净应以100毫基本模数。无尘车间净化主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。厂房变形缝应避免穿过洁净区。送回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构造的处理，应避免在人流与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。无尘车间的管道、风口均做密封处理，避免积尘和气流泄漏。
所以应加以控制。AMC的来源AMC来源于无尘车间内及室外空气。无尘车间内的AMC主要来源于以下几个方面：工艺牛产使用的各种化学品，工艺设备和原材料的气体释放，室内操作人员以及各种建筑材料等。室外空气中的AMC多少与IC厂房所在地的空气质量有关，且地方差异性较大，通常越是工厂集中的工业区来自室外的AMC就越严重。AMC的控制减少无尘车间内的AMC应从以下四个方面进行控制：a)控制室内产生：工艺生产线本身是AMC**大的产生源，因工艺生产中要使用各种化学品，这些化学品或多或少的要散发到室内空气中形成AMC，所以首先应从生产工艺上考虑尽量减少化学品的使用，另外应控制工艺设备的制作材料、涂料的释放气体。无尘车间的各种建筑材料也是AMC的一大来源，建筑材料引起的AMC涉及面较广，目前通常采取以下措施：尽量采用AMC释放低的建筑装修材料、涂料及密封材料，目前常用的建材中聚四氟乙烯、玻璃、不锈钢、铝合金、表面经烤漆处理的金属材料、高弹性聚氨脂涂料、环氧瓷漆等是可以接受的，而环氧树脂涂料、硅密封胶、单/双面密封胶带、阻燃剂已不适用了；改进建筑材料加工工艺，提高加工精度，工程中尽量不用密封胶；洁净系统中的HEPA/ULPA过滤器应采用聚四氟乙烯。无尘车间对环境的要求，咨询上海中湖。浙江万级洁净无尘车间案例
无尘车间的压差需保持正压，防止外部未净化空气从缝隙渗入造成污染。浙江万级洁净无尘车间案例
层流罩一种可提供局部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体，风机，初效空气过滤器，高效空气过滤器。阻尼层，灯具等组成，箱体喷塑或采用不锈钢材料。该产品即可以悬挂，又可地面支撑，结构紧凑，使用方便。可以单个使用，也可多个联接组成带状洁净区域。用于精密机械，电子，制药，食品，精细化工等部门。隔热夹心板是通过先进的自动成型机将彩色钢板压型后用度粘接剂把内外两层钢板（也可以用铝板，不锈钢或装饰板）与自熄型聚苯乙烯泡沫板（也可用其他防火材料）加压加热复合而成的新兴建筑板材。隔热夹心板外型美观，色泽鲜艳多样，轻质，施工迅速方便，以板块拼装，不用大型起吊设备，无湿作业。集承重，保温，防火，装饰于一体，不用二次装饰，可用于大跨度结构屋面，墙体，保温隔热厂房或保温防火厂，净化厂房，冷库，冷藏车，集装箱房，以及现有建筑物夹层等。浙江万级洁净无尘车间案例
