防爆罗茨真空机组供应商

罗茨真空机组由罗茨真空泵作为主泵，与前级泵串联组成。罗茨泵的转子在泵腔内做同步反向旋转，通过改变容积来输送气体。由于罗茨泵本身不具备向大气压直接排气的结构，因此需要前级泵将其出口压力降低到罗茨泵的启动压力以下。前级泵的选择影响机组的整体性能，常见的前级泵包括水环泵、旋片泵、螺杆泵等。机组启动时，前级泵先工作，将系统压力抽至罗茨泵允许的入口压力范围，随后罗茨泵启动，利用其较大的抽气速率，将系统压力进一步降低。这种配置使机组在中真空区域获得比单一前级泵更高的抽速和更低的极限压力。螺杆泵+罗茨泵集成的罗茨真空机组推荐罗茨真空机组用于低温容器补抽，维持容器长期真空状态。

在第三代半导体碳化硅单晶生长（PVT法）中，罗茨真空机组是连接低真空与高真空阶段的桥梁。虽然极限真空通常由分子泵负责，但罗茨泵负责将腔体从几百帕快速抽至1 Pa以下，为分子泵提供必要的前级压力。此工艺对极限真空度和抽气洁净度要求极高。因为罗茨泵转子的间隙极小（通常为0.1mm-0.3mm），如果用于前级抽气的螺杆泵油气分离效果不佳，油蒸气反扩散进入罗茨泵腔，会导致转子咬死。因此，SiC长晶用的罗茨机组必须配备超高精度的前级油气分离器，且泵体通常采用特殊涂层，以减少硅蒸气在泵腔内壁的沉积结垢，延长连续运行周期。

罗茨真空机组在排气管道上安装止回阀，以防止前级泵停止后气体回流。当前级泵停机时，泵的排气口与大气连通，大气压力可能推动排气管路中的气体倒流进入泵腔和罗茨泵。对于油封旋片泵，气体倒流可能将泵腔内的润滑油吹入进气管道和罗茨泵，造成油污染。止回阀安装在前级泵的排气口或排气管路上，允许气体从泵内流向大气，阻止气体反向流动。止回阀的开启压力应较小，以便在前级泵启动时顺利排气。使用一段时间后，止回阀的阀片可能因疲劳或腐蚀而失效，需要检查或更换。罗茨真空机组节水 90% 以上，部分机型无需冷却水避免水资源消耗。干式螺杆罗茨真空机组故障

罗茨真空机组可在 260-270℃工况下，抽除水蒸汽与脂肪酸混合气体。防爆罗茨真空机组供应商

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