LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。
面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。
传感器的位置:
传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。
支承面刚度:
支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。 LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。TS-150/LP隔振台超快激光系统防震台应用
关键词:主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、
·AVI系列振动传递率
横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0.02,很好地起到了隔振作用。
AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据(实验室实验数据)
垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
光刻机隔振台服务为先在过去的40年,HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商 ,并在此领域积累了丰富的经验。
AVI-600系列(负载:1200kg)
型号:AVI-600SLP,AVI-600MLP,AVI-600XLP
形状:控制器与防振单元分离型
主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态
单位尺寸:288×396×288×720×318×856×
控制器尺寸;448x286x143毫米
承重:1200kg(相等)
单位重量:约20kg,约26kg,联络我们
电源电压:95-240VAC,50-60赫兹
耗电量:正常27W
工作温度范围:5℃〜40℃
工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)
可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询。
选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询
AVI-400系列(负载:**多800kg)
型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP
系统形状:控制器与防振单元分离型
主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态
尺寸:190×396×190×720×220×856×
控制器尺寸:241×287×142毫米
承重*800kg
单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们
电源电压:95-240VAC,50-60赫兹
耗电量:通常为18W
工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)
可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。
使用AVI系统时,系统只能插入单独接地的插座。无论是在插座处,还是使用未接地的延长电缆,都不要断开此接地。如果您怀疑系统以任何方式不安全,请拔下插头并防止任何可能的意外使用。联系**近的服务中心。在打开此设备之前,请确保它连接到正确的电源电压。不要取下任何盖子或让任何金属物体进入通风槽。在取下任何盖子之前,断开电源。请向合格人员咨询服务。不要在可能的环境中使用。保险丝位于控制单元后侧的电源插座中。未先拔下电源线,不要试图更换保险丝。只能更换类型正确的保险丝。不要试图绕过保险丝。确保控制单元中的通风缝没有被覆盖,并且空气可以自由循环。堵塞狭缝可能导致过热,从而引发火灾。对于控制单元和隔离元件之间的连接,*使用提供的D-Sub 15电缆(m/f)。简单,用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。**频隔震台隔振台电子太平防震台应用
TS-140的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db。TS-150/LP隔振台超快激光系统防震台应用
AVI主动隔振台
AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。
AVI 产品特点:
· 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。
· 安装好后参数不需要调整。
· 从低频率起提高一个隔振环境。
·控制中心有超载指示灯。
Cu(100)-O表面低温AFM图像
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 TS-150/LP隔振台超快激光系统防震台应用
岱美仪器技术服务(上海)有限公司创建于2002-02-07,注册资金 100-200万元,办公设施齐全,办公环境优越,已***实行网络化办公,**提高了速度和效率。在岱美中国近多年发展历史,公司旗下现有品牌EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB等。公司不仅*提供专业的磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 ,同时还建立了完善的售后服务体系,为客户提供质量的产品和服务。岱美中国始终以质量为发展,把顾客的满意作为公司发展的动力,致力于为顾客带来***的[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]。