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工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家,主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样, 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到,仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首,于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的,随着原子武器研究和生化武器研究的发展,在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用,20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室,这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑,奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来,集成电路得到迅猛发展。 洁净室环境检测依据行业标准及国家标准。安徽洁净工作台检测规范性强

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(1)强制性国家标准

《洁净室施工及验收规范》(GB 50591- 2010)

《洁净厂房设计规范》(CB 50073- -2013)

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- -2008 )

《医药工业洁净厂房设计规范》(GB 50457- -2008)

《生物安 全实验室建筑技术规范》 (GB50346- 2011)

《实验动物设施建筑技术规范》(GB 50447- 2008)

《医院洁净手术部建筑技术规范》(GB 50333- 2013)

《通风与空调工程施工质量验收规范》(GB 50243- -2016)

(2)推荐性国家标准

《医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》( GB/T 16292- -2010)

《医药工业洁净室(区)浮游菌的测试方法》(GB/T 16293- 2010)

《医药工业洁净室(区)沉降菌的测试方法》(GB/T 16294- -2010)

《空气过滤器》( GB/T 14295- 2008 )

《高效空气过滤器》(GB/T 13554- 2008 )

《高效空气过滤器性能试验方法效率和阻力》 (GB/T 6165 -2008)《核级高效空气过滤器》(GB/T 17939- -2008)


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非单向流洁净室的风速检测要求

非单向流洁净室的风速检测一般检测风口风量。 内安装过滤器的风口采用与检测风速计算风量时相同的套管法或风管法。检测时,风口上的任何配件、饰物律保持原样。

选用套管法时,可用轻质板材或膜材做成与风口内截面相同或相近、长度大于2倍风口边长的直管段作为辅助风管,连接于过滤器风口外部,在套管出口平面均匀划分小方格,方格边长不大于200 mm,在方格中心设测点,不少于6点。

对于风口,上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时,可用风管法。检测断面距局部阻力部件距离,在局部阻力部件后者,距离局部阻力部件不少于5倍管径或5倍长边;在局部阻力部件前者,距离局部阻力部件不少于3倍管径或3倍长边。对于矩形风管,检测截面应按奇数分成纵横列,再在每一列上分成若干个相等的小截面,每个小藏面宜接近正方形,边长比较好不大于200 mm,测点位于小截面中心,测点数不宜少于6个。对于圆形风管,应按等面积圆环法划分检测截面并确定测点数。

压差

这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。

压差的测试应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、由平面布置上与外界较远的里间房间开始,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区),其洞口处宜有合理的气流流向等等。

压差检测要求:

(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。

(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。

(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。

(4)所测量记录的数据应精确到 1.0Pa。

压差检测步骤:

(1)先关闭所有的门。

(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

(3)记录所有数据。 蔚亚科技提供科学、公正、具有法律效力的检测数据和报告。

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洁净工作台  无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求,在操作台上保持高洁净度的局部净化。洁净工作台可以在操作台的局部空间形成无菌、无尘的局部净化,其主要组成部件有预过滤器、高效过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。  无尘车间的洁净工作台的构造要求:台面,采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面,或采用不锈钢做台面;箱体,用热扎薄钢板与骨架气焊易变形,可采用冷轧薄板折边搭接,大电流电焊,内表面需粘贴消声材料,比较大尺寸应以通过一般房门为宜;箱体密封,所有缝隙均采用密封胶密封;操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同,尽量减少盲区;风机、电机,选用高压低噪的小型风机,风机与箱体的连接采用软连接,电机及风机均应采取减振措施;灯罩,日光灯要尽量设置在灯罩内,灯罩内要通过洁净气流;预过滤器,须设置预过滤器,容量要大,在使用风量下,初阻力宜小于50Pa;高效过滤器,尽量采用大面积的过滤器,减少空气过滤器的数量,过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。公司检测活动主要以现场检测为主,方便客户、为客户服务是我们公司的宗旨。北京洁净室检测服务至上

动态:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员。安徽洁净工作台检测规范性强

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样,并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0. 85m,每25 m2设1个检测点。


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B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区,其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%,粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%,见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定,是基于对扩散元件透过率的计算,该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%,对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧,则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧,则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低...

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