某人工智能芯片公司利用 Polos 光刻机开发了基于阻变存储器(RRAM)的存算一体架构。其激光直写技术在 10nm 厚度的 HfO₂介质层上实现了 5nm 的电极边缘控制,器件的电导均匀性提升至 95%,计算能效比达 10TOPS/W,较传统 GPU 提升两个数量级。基于该技术的边缘 AI 芯片,在图像识别任务中能耗降低 80%,推理速度提升 3 倍,已应用于智能摄像头和无人机避障系统,相关芯片出货量突破百万片。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。微型传感器量产:80 µm开环谐振器加工能力,推动工业级MEMS传感器升级。北京POLOSBEAM-XL光刻机不需要缓慢且昂贵的光掩模

大尺寸晶圆的高效处理:Polos-BESM XL的优势!Polos-BESM XL Mk2专为6英寸晶圆设计,写入区域达155×155 mm,平台重复性精度0.1 µm,满足工业级需求。搭配20x/0.75 NA尼康物镜和120 FPS高清摄像头,实时观测与多层对准功能使其成为光子晶体和柔性电子器件研究的理想工具。其BEAM Xplorer软件简化复杂图案设计,内置高性能笔记本实现快速数据处理62。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。吉林光刻机可以自动聚焦波长Polos-BESM 光刻机:无掩模激光技术,成本降低 50%,任意图案轻松输入,适配实验室微纳加工。

无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。
某材料科学研究中心在探索新型纳米复合材料的性能时,需要在材料表面构建特殊的纳米图案。德国 Polos 光刻机成为实现这一目标的得力工具。研究人员利用其无掩模激光光刻技术,在不同的纳米材料表面制作出各种周期性和非周期性的图案结构。经过测试发现,带有特定图案的纳米复合材料,其电学、光学和力学性能发生了remarkable改变。例如,一种原本光学性能普通的纳米材料,在经过 Polos 光刻机处理后,对特定波长光的吸收率提高了 30%,为开发新型光电器件和光学传感器提供了新的材料选择和设计思路 。掩模制备时间归零,科研人员耗时减少 60%,项目交付周期缩短 50%。

某材料实验室利用 Polos 光刻机的亚微米级图案化能力,在铝合金表面制备出仿荷叶结构的超疏水涂层。其激光直写技术在 20μm 间距的微柱阵列上叠加 500nm 的纳米脊,使材料表面接触角达 165°,滚动角小于 3°。该涂层在海水环境中浸泡 30 天后,防腐蚀性能较未处理表面提升 10 倍。其灵活的图案编辑功能还支持在同一样品上实现超疏水与超亲水区域的任意组合,被用于微流控芯片的液滴定向输运,液滴驱动电压降低至传统方法的 1/3。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。柔性电子:曲面 OLED 驱动电路漏电降 70%,弯曲半径达 1mm,适配可穿戴设备。吉林光刻机可以自动聚焦波长
微流体3D成型:复杂流道快速曝光,助力tumor筛查芯片与药物递送系统研发。北京POLOSBEAM-XL光刻机不需要缓慢且昂贵的光掩模
某智能机器人实验室采用 Polos 光刻机制造了磁控微纳机器人。其激光直写技术在镍钛合金薄膜上刻制出 10μm 的螺旋桨结构,机器人在旋转磁场下的推进速度达 50μm/s,转向精度小于 5°。通过自定义三维运动轨迹,该机器人在微流控芯片中成功实现了单个红细胞的捕获与转运,操作成功率从传统方法的 40% 提升至 85%。其轻量化设计(质量 < 1μg)还支持在活细胞表面进行纳米级手术,相关成果入选《Science Robotics》年度创新技术。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。北京POLOSBEAM-XL光刻机不需要缓慢且昂贵的光掩模
BeamXL:中尺寸器件的加工升级,BeamXL型号针对中尺寸器件需求升级,将加工幅面扩大至更大规格,支持一次性成型中等尺寸微结构,无需多次拼接。其保留了Beam系列的core优势,分辨率仍可达0.8μm,同时提升了扫描速度与激光功率稳定性。在太阳能电池栅线加工中,该设备可一次性完成5英寸基板的精细栅线刻制,使电池转换效率提升3%,为光伏领域的小批量研发提供高效解决方案。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适...