NanoWriterNW-100:入门级高精度加工利器,NanoWriterNW-100作为Polos的经典型号,以0.8-2.5μm可调分辨率重塑入门级设备标准。搭载405nm或375nm激光光源,支持4095级灰度模式与2.5D结构制作,可在硅、玻璃等多种基材上实现精细图案曝光。其110×110mm加工幅面适配4英寸以内晶圆,配合实时激光控制与自动对焦功能,1秒即可完成对焦,特别适合高校实验室的微结构研发,将传统数小时的掩模制备流程缩短至分钟级。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。电子学应用:2μm 线宽光刻能力,第三代半导体器件研发效率提升 3 倍。湖北德国POLOS桌面无掩模光刻机光源波长405微米

在科研领域,设备的先进程度往往决定了研究的深度与广度。德国的 Polos - BESM、Polos - BESM XL、SPS 光刻机 POLOS µ 带来了革新之光。它们运用无掩模激光光刻技术,摒弃了传统光刻中昂贵且制作周期长的掩模,极大降低了成本。这些光刻机可轻松输入任意图案进行曝光,在微流体、电子学和纳 / 微机械系统等领域大显身手。例如在微流体研究中,能precise制造复杂的微通道网络,助力药物传输、细胞培养等研究。在电子学方面,可实现高精度的电路图案曝光,为芯片研发提供有力支持。其占用空间小,对于空间有限的研究实验室来说堪称完美。凭借出色特性,它们已助力众多科研团队取得成果,成为科研创新的得力助手 。黑龙江BEAM-XL光刻机POLOS µ 光刻机:微型化机身,纳米级曝光精度,微流体芯片制备周期缩短 40%。

材料科学:功能材料的可控组装,在功能材料领域,Polos光刻机为精确组装提供了技术保障。上海某化学研究所借助其光刻技术,成功制备多组分纳米纤维,实现了新能源器件的结构化设计。设备可在柔性基底上加工导电图案,为柔性电池、智能穿戴设备的研发奠定基础。其0.1μm的高重复性,确保了功能材料批量制备的一致性,加速科研成果向产业化转化。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。
某半导体实验室采用 Polos 光刻机开发氮化镓(GaN)基高电子迁移率晶体管(HEMT)。其激光直写技术在蓝宝石衬底上实现了 50nm 栅极长度的precise曝光,较传统光刻工艺线宽偏差降低 60%。通过自定义多晶硅栅极图案,器件的电子迁移率达 2000 cm²/(V・s),击穿电压提升至 1200V,远超商用产品水平。该技术还被用于 SiC 基功率器件的台面刻蚀,刻蚀深度均匀性误差小于 ±3%,助力我国新能源汽车电控系统core器件的国产化突破。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。多材料兼容:金属 / 聚合物 / 陶瓷同步加工,微流控芯片集成传感器一步成型。

无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。德国技术基因:融合精密光学与自动化控制,确保设备高稳定性与长寿命。吉林桌面无掩模光刻机
Polos-BESM 光刻机:无掩模激光直写,50nm 精度,支持金属 / 聚合物同步加工,适配第三代半导体器件研发。湖北德国POLOS桌面无掩模光刻机光源波长405微米
SPS POLOS µ以紧凑的桌面设计降低实验室设备投入,光束引擎通过压电驱动实现高速扫描(单次写入400 µm区域)。支持AZ5214E等光刻胶的高效曝光,成功制备3 µm间距微图案阵列和叉指电容器,助力纳米材料与柔性电子器件的快速验证。其无掩模特性进一步减少材料浪费,为中小型实验室提供经济解决方案62。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。湖北德国POLOS桌面无掩模光刻机光源波长405微米
BeamXL:中尺寸器件的加工升级,BeamXL型号针对中尺寸器件需求升级,将加工幅面扩大至更大规格,支持一次性成型中等尺寸微结构,无需多次拼接。其保留了Beam系列的core优势,分辨率仍可达0.8μm,同时提升了扫描速度与激光功率稳定性。在太阳能电池栅线加工中,该设备可一次性完成5英寸基板的精细栅线刻制,使电池转换效率提升3%,为光伏领域的小批量研发提供高效解决方案。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适...