企业商机
光刻机基本参数
  • 品牌
  • POLOS
  • 型号
  • BEAM
  • 类型
  • 激光蚀刻机
光刻机企业商机

某生物物理实验室利用 Polos 光刻机开发了基于压阻效应的细胞力传感器。其激光直写技术在硅基底上制造出 5μm 厚的悬臂梁结构,传感器的力分辨率达 10pN,较传统 AFM 提升 10 倍。通过在悬臂梁表面刻制 100nm 的微柱阵列,实现了单个心肌细胞收缩力的实时监测,力信号信噪比提升 60%。该传感器被用于心脏纤维化机制研究,成功捕捉到心肌细胞在病理状态下的力学变化,相关数据为心肌修复药物开发提供了关键依据。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。技术Benchmark:Polos-µPrinter 入选《半导体技术》年度创新产品,推动无掩模光刻技术普及。吉林德国桌面无掩模光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸

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在航空航天科研中,某科研团队致力于研发用于环境监测和侦察的微型飞行器。其中,制造轻量化且高性能的微机械部件是关键。德国 Polos 光刻机凭借无掩模激光光刻技术,助力团队制造出尺寸precise、质量轻盈的微型齿轮、机翼骨架等微机械结构。例如,利用该光刻机制造的微型齿轮,齿距精度达到纳米级别,极大提高了飞行器动力传输系统的效率和稳定性。基于此,科研团队成功试飞了一款新型微型飞行器,其续航时间和飞行灵活性远超同类产品,为未来微型飞行器在复杂环境下的应用奠定了坚实基础。河北德国POLOS桌面无掩模光刻机分辨率1.5微米纳 / 微机械:亚微米级结构加工,微型齿轮精度达 ±50nm,推动微机电系统创新。

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微纳卫星对部件重量与精度要求苛刻,传统加工难以兼顾。Polos 光刻机在硅基材料上实现了 50nm 深度的微沟槽加工,为某航天团队制造出轻量化星载惯性导航陀螺结构。通过自定义螺旋型振动梁图案,陀螺的零偏稳定性提升至 0.01°/h,较商用产品性能翻倍。该技术还被用于微推进器喷嘴阵列加工,使卫星姿态调整精度达到亚毫牛级,助力我国低轨卫星星座建设取得关键突破。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。

细胞培养芯片需根据不同细胞类型设计表面微结构,传统光刻依赖掩模库,难以满足个性化需求。Polos 光刻机支持 STL 模型直接导入,某干细胞研究所在 24 小时内完成了神经干细胞三维培养支架的定制加工。其制造的微柱阵列间距可精确控制在 5-50μm,适配不同分化阶段的细胞黏附需求。实验显示,使用该支架的神经细胞轴突生长速度提升 30%,为神经再生机制研究提供了高效工具,相关技术已授权给生物芯片企业实现量产。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。POLOS µ 光刻机:微型化机身,纳米级曝光精度,微流体芯片制备周期缩短 40%。

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某材料科学研究中心在探索新型纳米复合材料的性能时,需要在材料表面构建特殊的纳米图案。德国 Polos 光刻机成为实现这一目标的得力工具。研究人员利用其无掩模激光光刻技术,在不同的纳米材料表面制作出各种周期性和非周期性的图案结构。经过测试发现,带有特定图案的纳米复合材料,其电学、光学和力学性能发生了remarkable改变。例如,一种原本光学性能普通的纳米材料,在经过 Polos 光刻机处理后,对特定波长光的吸收率提高了 30%,为开发新型光电器件和光学传感器提供了新的材料选择和设计思路 。软件高效兼容:BEAM Xplorer支持GDS文件导入,简化复杂图案设计流程。吉林德国桌面无掩模光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸

Polos-BESM XL:130mm×130mm 曝光幅面,STL 模型直接导入,微流控芯片制备周期缩短 40%。吉林德国桌面无掩模光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸

微流体芯片制造的core工具!Polos光刻机可加工80 µm直径的开环谐振器和2 µm叉指电极,适用于传感器与执行器开发。结合双光子聚合技术(如Nanoscribe的2PP工艺),用户可扩展至3D微纳结构打印,为微型机器人及光学超材料提供多维度解决方案37。其与Lab14集团的协同合作,进一步推动工业级光学封装技术创新3。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。吉林德国桌面无掩模光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸

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