企业商机
光刻机基本参数
  • 品牌
  • POLOS
  • 型号
  • BEAM
  • 类型
  • 激光蚀刻机
光刻机企业商机

某智能机器人实验室采用 Polos 光刻机制造了磁控微纳机器人。其激光直写技术在镍钛合金薄膜上刻制出 10μm 的螺旋桨结构,机器人在旋转磁场下的推进速度达 50μm/s,转向精度小于 5°。通过自定义三维运动轨迹,该机器人在微流控芯片中成功实现了单个红细胞的捕获与转运,操作成功率从传统方法的 40% 提升至 85%。其轻量化设计(质量 < 1μg)还支持在活细胞表面进行纳米级手术,相关成果入选《Science Robotics》年度创新技术。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。Polos-BESM XL:130mm×130mm 曝光幅面,STL 模型直接导入,微流控芯片制备周期缩短 40%。北京POLOSBEAM光刻机可以自动聚焦波长

北京POLOSBEAM光刻机可以自动聚焦波长,光刻机

上海有机化学研究所通过光刻技术制备多组分纳米纤维,实现了功能材料的精确组装。类似地,Polos系列设备可支持此类结构的可控加工,为新能源器件(如柔性电池)和智能材料提供技术基础3。设备的高重复性(0.1 µm)确保了科研成果的可转化性。掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。辽宁德国PSP-POLOS光刻机MAX层厚可达到10微米POLOS µ 光刻机:桌面级设计,2-23μm 可调分辨率,兼容 4 英寸晶圆,微机电系统加工误差 < 5μm。

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Polos系列通过无掩模技术减少化学废料产生,同时低能耗设计(如固态激光光源)符合绿色实验室标准。例如,其光源系统较传统DUV光刻机能耗降低30%,助力科研机构实现碳中和目标。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。

大尺寸晶圆的高效处理:Polos-BESM XL的优势!Polos-BESM XL Mk2专为6英寸晶圆设计,写入区域达155×155 mm,平台重复性精度0.1 µm,满足工业级需求。搭配20x/0.75 NA尼康物镜和120 FPS高清摄像头,实时观测与多层对准功能使其成为光子晶体和柔性电子器件研究的理想工具。其BEAM Xplorer软件简化复杂图案设计,内置高性能笔记本实现快速数据处理62。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。Polos-BESM 光刻机:无掩模激光技术,成本降低 50%,任意图案轻松输入,适配实验室微纳加工。

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在科研领域,设备的先进程度往往决定了研究的深度与广度。德国的 Polos - BESM、Polos - BESM XL、SPS 光刻机 POLOS µ 带来了革新之光。它们运用无掩模激光光刻技术,摒弃了传统光刻中昂贵且制作周期长的掩模,极大降低了成本。这些光刻机可轻松输入任意图案进行曝光,在微流体、电子学和纳 / 微机械系统等领域大显身手。例如在微流体研究中,能precise制造复杂的微通道网络,助力药物传输、细胞培养等研究。在电子学方面,可实现高精度的电路图案曝光,为芯片研发提供有力支持。其占用空间小,对于空间有限的研究实验室来说堪称完美。凭借出色特性,它们已助力众多科研团队取得成果,成为科研创新的得力助手 。全球产业链整合:德国精密制造背书,与Lab14集团共推光通信芯片封装技术。德国POLOS桌面无掩模光刻机MAX层厚可达到10微米

德国工艺:精密制造基因,10 年以上使用寿命,维护成本低,设备残值率达 60%。北京POLOSBEAM光刻机可以自动聚焦波长

德国 Polos 光刻机系列是电子学领域不可或缺的精密设备。其无掩模激光光刻技术,让电路图案曝光不再受限于掩模,能够实现超高精度的图案绘制。在芯片研发过程中,Polos 光刻机可precise刻画出纳米级别的电路结构,为芯片性能提升奠定基础。​ 科研团队使用 Polos 光刻机,成功开发出更高效的集成电路,降低芯片能耗,提高运算速度。而且,该光刻机可轻松输入任意图案,满足不同电子元件的多样化设计需求。无论是新型传感器的电路制作,还是微型处理器的研发,Polos 光刻机都能以高精度、低成本的优势,为电子学领域的科研成果产出提供有力保障,推动电子技术不断创新。北京POLOSBEAM光刻机可以自动聚焦波长

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BeamXL:中尺寸器件的加工升级,BeamXL型号针对中尺寸器件需求升级,将加工幅面扩大至更大规格,支持一次性成型中等尺寸微结构,无需多次拼接。其保留了Beam系列的core优势,分辨率仍可达0.8μm,同时提升了扫描速度与激光功率稳定性。在太阳能电池栅线加工中,该设备可一次性完成5英寸基板的精细栅线刻制,使电池转换效率提升3%,为光伏领域的小批量研发提供高效解决方案。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适...

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