黑龙江德国BEAM光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米

微流体芯片制造的core工具！Polos光刻机可加工80 µm直径的开环谐振器和2 µm叉指电极，适用于传感器与执行器开发。结合双光子聚合技术（如Nanoscribe的2PP工艺），用户可扩展至3D微纳结构打印，为微型机器人及光学超材料提供多维度解决方案37。其与Lab14集团的协同合作，进一步推动工业级光学封装技术创新3。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。电子学应用：2μm 线宽光刻能力，第三代半导体器件研发效率提升 3 倍。黑龙江德国BEAM光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米

某能源研究团队采用 Polos 光刻机制造了压电式微型能量收集器。其激光直写技术在 PZT 薄膜上刻制出 50μm 的叉指电极，器件的能量转换效率达 35%，在 10Hz 振动下可输出 50μW/cm² 的功率。通过自定义电极间距和厚度，该收集器可适配不同频率的环境振动，在智能穿戴设备中实现了运动能量的实时采集与存储。其轻量化设计（体积 < 1mm³）还被用于物联网传感器节点，使传感器续航时间从 3 个月延长至 2 年。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。上海德国BEAM光刻机不需要缓慢且昂贵的光掩模用户案例broad：全球超500家科研机构采用，覆盖高校、研究所与企业实验室。

超表面通过纳米结构调控光场，传统电子束光刻成本高昂且效率低下。Polos 光刻机的激光直写技术在石英基底上实现了亚波长量级的图案曝光，将超表面器件制备成本降低至传统方法的 1/5。某光子学实验室利用该设备，研制出宽带消色差超表面透镜，在 400-1000nm 波长范围内成像误差小于 5μm。其灵活的图案编辑功能还支持实时优化结构参数，使器件研发周期从数周缩短至 24 小时，推动超表面技术从理论走向集成光学应用。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。

某集成电路实验室利用 Polos 光刻机开发了基于相变材料的存算一体芯片。其激光直写技术在二氧化硅基底上实现了 100nm 间距的电极阵列，器件的读写速度达 10ns，较传统 SRAM 提升 100 倍。通过在电极间集成 20nm 厚的 Ge2Sb2Te5 相变材料，芯片实现了计算与存储的原位融合，能效比达 1TOPS/W，较传统冯・诺依曼架构提升 1000 倍。该技术被用于边缘计算设备，使图像识别延迟从 50ms 缩短至 5ms，相关芯片已进入小批量试产阶段。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。环保低能耗设计：固态光源能耗较传统设备降低30%，符合绿色实验室标准。

Polos光刻机与弗劳恩霍夫ILT的光束整形技术结合，可定制激光轮廓以优化能量分布，减少材料蒸发和飞溅，提升金属3D打印效率7。这种跨领域技术融合为工业级微纳制造（如光学元件封装）提供新思路，推动智能制造向高精度、低能耗方向发展Polos系列broad兼容AZ、SU-8等光刻胶，通过优化曝光参数（如能量密度与聚焦深度）实现不同材料的高质量加工。例如，使用AZ5214E时，可调节光束强度以减少侧壁粗糙度，提升微结构的功能性。这一特性使其在生物相容性器件（如仿生传感器）中表现outstanding26。客户认可：全球 500 + 客户满意度达 98%，复购率 75%，技术支持响应时间 < 2 小时。四川德国BEAM光刻机

POLOS µ 光刻机：微型化机身，纳米级曝光精度，微流体芯片制备周期缩短 40%。黑龙江德国BEAM光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米

一家专注于再生医学的科研公司在组织工程支架的研究上，使用德国 Polos 光刻机取得remarkable成果。组织工程支架需要具备特定的三维结构，以促进细胞的生长和组织的修复。Polos 光刻机能够根据预先设计的三维模型，在生物可降解材料上精确制造出复杂的孔隙结构和表面图案。通过该光刻机制造的支架，在动物实验中表现出优异的细胞黏附和组织生长引导能力。与传统制造方法相比，使用 Polos 光刻机生产的支架，细胞在其上的增殖速度提高了 50%，为组织工程和再生医学的临床应用提供了有力支持。黑龙江德国BEAM光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米