RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

RPS远程等离子源(Remote Plasma Source)是一种先进的等离子体生成技术,其主要 在于将等离子体的生成区与反应区进行物理分离。这种设计通过电磁场激发工作气体(如氧气、氮气或氩气)产生高密度的等离子体,随后利用气流将活性自由基输送到反应腔室中。由于等离子体生成过程远离工件,RPS远程等离子源能够有效避免高能离子和电子对敏感器件的直接轰击,从而明显 降低损伤风险。在高级 制造领域,例如半导体晶圆清洗或薄膜沉积后的腔室维护,RPS远程等离子源凭借其均匀的活性粒子分布和精确的工艺控制,成为提升良品率的关键工具。此外,该技术还支持多种气体组合,适应复杂的工艺需求,帮助用户实现高效、低污染的清洁和刻蚀应用。RPS技术广泛应用于半导体制造、光伏产业表面处理等领域。上海远程等离子源处理cvd腔室RPS常用知识

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具具备强大的多场景适配能力,并提供专业的定制化服务,满足不同行业的检测需求。RPS 检具可根据零部件的结构特点、尺寸规格定制设计,适配汽车、智能装备、机器人等多个行业的检测场景。针对复杂曲面零部件,RPS 检具采用非接触式检测方案;针对高精度孔位检测,RPS 检具配备特用接触式探针;针对生产线在线检测,RPS 检具设计为快速装夹结构,满足高效检测需求。晟鼎精密的工程师团队可根据客户提供的零部件 CAD 模型,快速完成 RPS 检具的设计与制造,并提供安装调试、操作人员培训等一站式服务。该 RPS 检具定制化方案周期短、适配性强,已为多家企业解决了特殊检测需求,成为行业内定制化检测方案的质量 RPS 供应商。上海半导体RPS客服电话高活性气态分子经过真空泵组抽出处理腔室,提高处理腔室内部洁净度。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,凭借较强的环境适应性与高精度,成功应用于航空航天零部件制造。航空航天零部件多为复杂曲面结构,尺寸精度要求极高,RPS 设备支持 3 组 9 个高分辨率镜头切换,可覆盖不同规格零部件的扫描需求。RPS 采用同步触发驱动技术,投光采集时间短,扫描效率高,单幅测量时间≤1.5 秒,能快速完成大型零部件的全尺寸扫描。在数据处理上,RPS 通过多核多线程高速算法与 GPU 加速,实现点云数据的快速重建与噪声处理,生成高精度三维模型。该 RPS 设备可承受航空航天制造车间的复杂环境,抗震动、抗干扰能力突出,测量精度稳定在 0.01mm 以内。目前,RPS 已应用于飞机结构件、发动机零部件等关键部件的制造检测,为航空航天产品的安全性提供了可靠的 RPS 技术保障。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,为文物保护提供了先进的数字化解决方案。文物保护对检测设备的精度与安全性要求极高,RPS 采用非接触式扫描方式,不会对文物造成任何损伤,可安全用于各类文物的数字化采集。RPS 设备的高分辨率扫描能力可精细捕捉文物的纹理、细节与尺寸信息,生成高精度三维数字模型,为文物修复、复制提供准确数据。在文物展览中,RPS 生成的三维数字模型可用于虚拟展览,让观众通过数字终端近距离欣赏文物细节;在文物研究中,研究人员可通过数字模型进行多角度分析,无需接触文物原件。该 RPS 文物数字化方案已应用于多家博物馆与文物保护机构,为文化遗产的传承与保护提供了有力的 RPS 技术支持。晟鼎RPS自研PEO表面处理工艺,增加PEO膜层使用寿命,降低维护成本。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,为增强现实(AR)应用提供了高精度的位置信息支撑。AR 应用对定位精度要求严苛,RPS 通过 Wi-Fi 指纹定位、室内地图定位等多种技术融合,实现厘米级定位精度,确保虚拟物体与现实场景的精细叠加。在 AR 导航、AR 工业维修等场景中,RPS 可实时更新用户位置信息,保障虚拟指引与实际环境的一致性;在 AR 娱乐应用中,RPS 快速的定位响应速度提升了用户交互体验。晟鼎精密的 RPS 定位系统具备良好的兼容性,可与多种 AR 设备与平台对接,支持多用户同时定位。通过持续优化定位算法,RPS 在复杂环境中的定位稳定性不断提升,为 AR 技术的商业化应用提供了可靠的 RPS 技术基础。在文化遗产保护中实现文物无损清洁。山东国产RPS电源半导体

在新能源电池制造中实现电极材料的表面改性。上海远程等离子源处理cvd腔室RPS常用知识

在材料科学的基础研究和新材料开发中,获得一个清洁、无污染的原始表面对于准确分析其本征物理化学性质至关重要。无论是进行XPS、AFM还是SIMS等表面分析技术,微量的表面吸附物都会严重干扰测试结果。RPS远程等离子源应用领域为此提供的解决方案。其能够在高真空或超高真空环境下,通过产生纯净的氢或氩自由基,对样品表面进行原位(in-situ)清洗。氢自由基能高效还原并去除金属表面的氧化物,而氩自由基能物理性地溅射掉表层的污染物,整个过程几乎不引入新的污染或造成晶格损伤。这为研究人员揭示材料的真实表面态、界面电子结构以及催化活性位点等本征特性提供了可能,是连接材料制备与性能表征的关键桥梁。上海远程等离子源处理cvd腔室RPS常用知识

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